[发明专利]样品对准转轴轴线的调整方法有效
申请号: | 201811450212.4 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN111257359B | 公开(公告)日: | 2021-03-02 |
发明(设计)人: | 王宏涛;张奕志 | 申请(专利权)人: | 浙江大学 |
主分类号: | G01N23/20025 | 分类号: | G01N23/20025;G01B15/00;G01K11/32 |
代理公司: | 杭州橙知果专利代理事务所(特殊普通合伙) 33261 | 代理人: | 杜放 |
地址: | 310058 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品 对准 转轴 轴线 调整 方法 | ||
1.样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1、制作样品夹嘴,将样品装夹在样品夹嘴内,再将样品夹嘴装入样品夹具;
S2、将带有样品的样品杆插入透射电镜,找到样品的一个待观测区域,并选取样品的待观测区域的一个特征点;
S3、使转轴自转到0°,记录样品特征点投影到电镜屏幕上的位置为D1;使转轴自转到180°,记录样品特征点投影到电镜屏幕上的位置为D2;
S4、驱动纳米定位器,沿使用Y方向驱动,将样品特征点投影到电镜屏幕上的位置移动到D1和D2的中心位置Dz;
S5、使转轴自转到90°,驱动纳米定位器,沿Z方向驱动将样品特征点投影到电镜屏幕上的位置移动到Dz;
S6、使转轴自转到0°,驱动纳米定位器,沿Y方向驱动将样品特征点投影到电镜屏幕上的位置移动到Dz;
S7、重复S5-S6,直到来回旋转时样品特征点投影到电镜屏幕上的位置在电镜下的横向位置不变;
S8、增大透射电镜放大倍数,并重复S3-S7。
2.如权利要求1所述的样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于:样品夹嘴包括用于装载样品的夹紧部,以及连接部,夹紧部中线位置具有装样孔。
3.如权利要求2所述的样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于:装样孔两侧对称开有连通装样孔的缓冲间隙。
4.如权利要求3所述的样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于:夹紧部从底部向顶部逐渐收缩,顶部呈扁状,夹紧部呈中空状。
5.如权利要求4所述的样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于:夹紧部和连接部固定连接,或者一体成型。
6.如权利要求5所述的样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于:连接部为实心柱,或者连接部为空心。
7.如权利要求6所述的样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于:连接部侧壁具有与预紧螺钉配合的凹坑。
8.如权利要求7所述的样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于:样品夹嘴是薄壁铜管。
9.如权利要求1所述的样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于:样品夹具为套管。
10.如权利要求1所述的样品对准转轴轴线的调整方法,其特征在于:纳米定位器包括驱动件、关节球和压件组件,关节球与驱动件固定,压件组件包括至少两个压件和弹性连接组件,弹性连接组件连接相邻的压件,压件抱住关节球,压件与关节球之间具有预紧力。
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