[发明专利]一种辅助显影版图制作方法

说明书

本发明公开了一种辅助显影版图制作方法，属于滤波器制作领域。该方法包括根据声表面波滤波器的原版图确定辅助显影版图，所述辅助显影版图上设置有对应叉指换能器的电极、空白区域和引线电极；在所述辅助显影版图上，在所述叉指换能器的电极的周围增加实方体垫片，所述实方体垫片布满所述叉指换能器的周围，且所述实方体垫片与所述叉指换能器的反射栅之间的距离为所述叉指换能器的周期的二分之一；解决了现有的显影版图容易令显影液反应速率不同的问题，达到了令喷射显影液后各个区域的反应速率相同，提高产品的一致性，改善产品性能，提高产品质量。

技术领域

本发明实施例涉及滤波器制造领域，特别涉及一种辅助显影版图制作方法。

背景技术

声表面波滤波器是利用压电陶瓷、铌酸锂、石英等压电石英晶体振荡器材料的压电效应和声表面波传播的物理特性制成的一种换能式无源带通滤波器。

随着技术的发展，对声表面波滤波器的频率要求越来越高，为了满足高频率的要求，需要声表面波滤波器的指条越来越精细，因此，显影速率、显影液浓度对高频的声表面波滤波器的影响也越大。

发明内容

为了解决现有技术的问题，本发明实施例提供了一种辅助显影版图制作方法。该技术方案如下：

第一方面，提供了一种辅助显影版图制作方法，该方法包括：

根据声表面波滤波器的原版图确定辅助显影版图，所述辅助显影版图上设置有对应叉指换能器的电极、空白区域和引线电极；

在所述辅助显影版图上，在所述叉指换能器的电极的周围增加实方体垫片，所述实方体垫片布满所述叉指换能器的周围，且所述实方体垫片与所述叉指换能器的反射栅之间的距离为所述叉指换能器的周期的二分之一。

可选的，在所述辅助显影版图上，所述引线电极的周围不设置实方体垫片。

可选的，所述叉指换能器的电极宽度等于电极间隔。

本发明实施例提供的技术方案带来的有益效果是：

在辅助显影版图上，在叉指换能器的电极的周围增加实方体垫片，实方体垫片布满叉指换能器的周围，在不需要改变显影版图的设计方案的前提下，令喷射显影液后各个区域的反应速率相同，提高产品的一致性，改善产品性能，提高产品质量。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是根据一示例性实施例示出的一种辅助显影版图制作方法的流程图；

图2是根据一示例性实施例示出的一种声表面波滤波器的原版图的示意图；

图3是根据一示例性实施例示出的一种叉指换能器的结构示意图；

图4是根据一示例性实施例示出的一种辅助显影版图的示意图；

图5是根据一示例性实施例示出的一种辅助显影版图上实方体垫片与叉指换能器电极之间的位置细节示意图。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

请参考图1，其示出了本发明一个实施例提供的辅助显影版图制作方法的流程图。如图1所示，该辅助显影版图制作方法可以包括以下步骤：

步骤101，根据声表面波器的原版图确定辅助显影版图。

辅助显影版图上设置有对应叉指换能器的电极、空白区域和引线电极。