[发明专利]蒸镀装置、蒸镀方法和控制板在审
| 申请号： | 201811451481.2 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN110004413A | 公开（公告）日： | 2019-07-12 |
| 发明（设计）人： | 山下和吉;末永真吾;滨永教彰 | 申请（专利权）人： | 长州产业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 喷射喷嘴 蒸镀装置 蒸镀 控制板 蒸镀源 蒸镀材料 开口面 喷射 配置 膜厚均匀性 大型基板 方法使用 外侧倾斜 蒸镀膜 直线状 阴影 | ||
1.一种蒸镀装置，其特征在于，
所述蒸镀装置包括蒸镀源，所述蒸镀源具有配置成直线状并喷射蒸镀材料的多个喷射喷嘴，
所述多个喷射喷嘴包括：
一对内侧喷射喷嘴，具有朝相对的方向倾斜的开口面；以及
一对外侧喷射喷嘴，分别配置在所述一对内侧喷射喷嘴的外侧，具有朝向外侧倾斜的开口面，
所述蒸镀源还具有控制板，所述控制板配置在所述一对内侧喷射喷嘴之间，控制喷射的蒸镀材料的分布。
2.根据权利要求1所述的蒸镀装置，其特征在于，所述控制板的包含所述多个喷射喷嘴的各开口面的法线的剖切面上的断面形状是Y形或T形。
3.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，所述控制板构成为能够调整所述喷射的蒸镀材料的分布。
4.根据权利要求1或2所述的蒸镀装置，其特征在于，
所述一对内侧喷射喷嘴的开口面的中心点间的距离L1为300mm以上400mm以下，
所述一对内侧喷射喷嘴中的一方的开口面的中心与配置在该内侧喷射喷嘴外侧的外侧喷射喷嘴的开口面的中心之间的距离L2为40mm以上120mm以下，
所述一对内侧喷射喷嘴的开口面的倾斜角θ1为30°以上45°以下，
所述一对外侧喷射喷嘴的开口面的倾斜角θ2为50°以上70°以下。
5.一种蒸镀方法，其特征在于，所述蒸镀方法包括使用权利要求1至4中任意一项所述的蒸镀装置进行蒸镀的工序。
6.一种控制板，其特征在于，
所述控制板控制从蒸镀装置的喷射喷嘴喷射的蒸镀材料的分布，
所述控制板的断面形状是Y形或T形。
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