[发明专利]一种太阳能电池材料

权利要求书

1.一种太阳能电池太阳能电池，按工艺线的生产顺序分为如下步骤：对硅片进行前道化学预处理；在硅片上制作PN结；对硅片进行去边结处理；对硅片的表面进行钝化处理；制作正面电极和背面电极；正面电极和背面电极金属化及氮化硅薄膜烧穿处理，其特征在于采用选择性扩散工艺法在硅片上制作PN结，其具体过程为：在硅片的一个表面上喷涂磷源，磷源为含磷酸的浆料，然后烘干硅片以保持磷源均匀粘附在硅片的这个表面上，烘干温度为300～500℃，烘干时间为15～25分钟；根据欲制作的正面电极的预设长度和预设宽度，在硅片粘附有磷源的表面上选择确定欲制作正面电极的位置，用激光逐一对硅片上欲制作正面电极的位置处进行加热，使该位置处的温度达到900～1300℃，促使均匀粘附在硅片的一个表面上的磷源中的磷向硅片内扩散，以在被激光照射的欲制作正面电极的位置处形成薄层电阻为20～40欧姆/平方厘米的重掺杂区域，而在未被激光照射的表面形成薄层电阻为90～200欧姆/平方厘米的轻掺杂区域，由重掺杂区域和轻掺杂区域构成发射区n+层；利用常规的烧结炉在温度为700～980℃的条件下对磷扩散后的硅片进行整体加热2～30分钟，在硅片上形成PN结。