[发明专利]带式输送装置

权利要求书

1.一种带式输送装置，其能够利用带来输送基板并且在所述带上利用加工装置对所述基板进行加工，所述带式输送装置具备：

环状的带；

驱动部，其对所述带进行驱动；

移动部，其能够保持所述带的上侧输送部的一部分并沿输送方向移动；以及

多个支撑部件，其是用于从下方支撑所述上侧输送部的部件，能够随着所述上侧输送部的移动而沿输送方向移动，

所述多个支撑部件是在上侧具有沿所述带的宽度方向延伸的侧面的多个板状部件，

所述带式输送装置还具备将所述多个板状部件中成为一对的板状部件连结的多个连结部件，

所述连结部件将所述一对的板状部件以仅可在规定范围内接近/分离的方式进行连结，

所述连结部件具有第一部件和第二部件，其中，所述第一部件固定于一方的板状部件，所述第二部件固定于另一方的板状部件，且以沿上下方向延伸的轴为中心转动自如地连结于所述第一部件。

2.根据权利要求1所述的带式输送装置，其特征在于，

所述带式输送装置还具备施力部件，所述施力部件产生朝向使所述一对的板状部件相互接近和相互分离的方向的作用力。

3.根据权利要求1或2所述的带式输送装置，其特征在于，

所述移动部是将在所述带的所述上侧输送部上载置的基板分断的分断装置。