[发明专利]一种加热体制作专用设备

说明书

本发明公开了加热体制作专用设备，加热体由加热体炉丝缠绕形成，专用设备包括依次设置的进丝工作台、校丝工作台和出丝装置，进丝工作台上设有至少一对转动方向相反的进丝轮，进丝轮竖直设置，校丝工作台上设有至少一对转动方向相反校丝轮，校丝轮水平设置，出丝装置包括缠绕组件、接丝组件和驱动接丝组件转动的接丝驱动，缠绕组件包括至少两个固定轮和一个调节轮，各固定轮和调节轮的中心连线形成一个圆弧，加热体炉丝经过进丝轮和校丝轮之后，依次与各固定轮和调节轮接触并缠绕成螺旋形的圆圈，调节轮用于调节单个圆圈的直径大小，螺旋形的圆圈竖向套于接丝组件上，螺旋形的圆圈形成加热体。本发明具有结构简单、效率高、加工质量高的优点。

技术领域

本发明涉及半导体加热设备，尤其涉及一种加热体制作专用设备。

背景技术

加热体是半导体加热设备的关键部件，传统加热体的加工都采用卧式车床夹持芯轴配合绕制的工艺进行加工，加工都采用卧式车床夹持芯轴配合绕制的工艺进行加工，加工直径大小、长度不同的加热体需准备直径大小、长度相等的芯轴；而且，芯轴必须通过公式进行直径大小加工，准备时间非常漫长，在加工时加热体应力都集中到芯轴上，加热体加工长度越长应力也就越大，使得加工精度波动范围较大，主要表现为各圈直径不一致和喇叭口，还需借助校正设备进行校正，方可使用。加工完毕后，在取出加热体需拆卸固定芯轴的另一端，方可取出加热体后又需把固定芯轴的另一端重新装夹固定芯轴，加工效率都不尽人意。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、效率高、加工质量高的加热体制作专用设备。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种加热体制作专用设备，所述加热体由加热体炉丝缠绕形成，所述专用设备包括依次设置的进丝工作台、校丝工作台和出丝装置，所述进丝工作台上设有至少一对转动方向相反的进丝轮，所述进丝轮竖直设置，所述校丝工作台上设有至少一对转动方向相反校丝轮，所述校丝轮水平设置，所述出丝装置包括缠绕组件、接丝组件和驱动接丝组件转动的接丝驱动，所述缠绕组件包括至少两个固定轮和一个调节轮，各固定轮和调节轮的中心连线形成一个圆弧，所述加热体炉丝经过进丝轮和校丝轮之后，依次与各固定轮和调节轮接触并缠绕成螺旋形的圆圈，所述调节轮用于调节单个圆圈的直径大小，所述螺旋形的圆圈竖向套于接丝组件上，所述螺旋形的圆圈形成所述加热体。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述接丝组件包括底盘、立架和转轴，所述立架固定在底盘上，所述转轴穿过立架固定在底盘的中心，所述接丝驱动与转轴连接。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述接丝驱动为接丝驱动电机。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述立架包括至少三个沿周向均匀布置的支撑杆，各支撑杆的下端固定在底盘上，各支撑杆的上端通过一个连接环固定，且各支撑杆从上至下呈锥形布置，且该锥形上端直径小下端直径大。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述出丝装置还包括出丝工作台，所述接丝组件和和缠绕组件设于出丝工作台的下方，所述接丝驱动设于出丝工作台上。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述进丝轮设置两对，所述进丝工作台上设有立板，所述立板上沿着进丝方向设有两对前后布置的进丝轴，每对的两个进丝轴上下布置，所述进丝轮安装在进丝轴的一端，进丝轴的另一端设有进丝从动齿轮，所述立板的一侧设有进丝驱动电机，所述进丝驱动电机上设有进丝主动齿轮，所述进丝主动齿轮与四个进丝从动齿轮啮合。

作为上述技术方案的进一步改进，优选的，所述校丝轮设置两对，所述校丝工作台上沿着进丝方向设有两对前后布置的校丝轴，每对的两个校丝轴并排布置，所述校丝轮安装在校丝轴的一端，所述校丝轴的另一端设有校丝从动齿轮，所述校丝工作台的下方设有校丝驱动电机，所述校丝驱动电机上设有校丝主动齿轮，所述校丝主动齿轮与四个校丝从动齿轮啮合。