[发明专利]一种多通道电阻测试系统及其测试方法在审
申请号: | 201811456931.7 | 申请日: | 2018-11-30 |
公开(公告)号: | CN109283395A | 公开(公告)日: | 2019-01-29 |
发明(设计)人: | 吕越;高波;伍文涛;王镇 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01R27/08 | 分类号: | G01R27/08;G01R1/04 |
代理公司: | 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 | 代理人: | 余明伟 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 测试样品 测试选择信号 测试 电阻测试系统 多通道 多通道切换开关 读取 数据读取模块 恒定电流 开关闭合 控制模块 手动切换 样品支撑 依次串联 正电压端 主控模块 电流源 负电压 热负载 引出端 串联 耗时 发送 引入 | ||
1.一种多通道电阻测试系统,其特征在于,所述测试系统包括:
样品支撑结构,用于放置N个待测试样品,N个所述待测试样品依次串联,同时引出(2N+2)个引出端;其中(2N+2)个所述引出端包括:于N个串联的所述待测试样品两端引出的一正电流引出端及一负电流引出端,同时于每一所述待测试样品两端引出的一正电压引出端及一负电压引出端;N为大于等于2的正整数;
多通道切换开关控制模块,包括N个正电压端控制开关及N个负电压端控制开关,其中N个所述正电压端控制开关的第一连接端分别与N个所述正电压引出端一一对应电连接,其第二连接端彼此相连以作为所述多通道切换开关控制模块的正电压输出端,其控制端接入所述测试选择信号;N个所述负电压端控制开关的第一连接端分别与N个所述负电压引出端一一对应电连接,其第二连接端彼此相连以作为所述多通道切换开关控制模块的负电压输出端,其控制端接入所述测试选择信号;所述多通道切换开关控制模块用于根据所述测试选择信号控制对应的正电压端控制开关及负电压端控制开关闭合,以从N个所述待测试样品中选出一与所述测试选择信号对应的实际测试样品;
电流源,连接于所述正电流引出端及所述负电流引出端之间,用于为N个串联的所述待测试样品提供恒定电流;
数据读取模块,连接于所述正电压输出端和所述负电压输出端,用于读取所述实际测试样品两端的电压差值,以通过所述电压差值及恒定电流值计算所述实际测试样品的电阻值;
主控模块,连接于N个所述正电压端控制开关及N个所述负电压端控制开关的控制端,用于向N个所述正电压端控制开关及N个所述负电压端控制开关发送所述测试选择信号。
2.根据权利要求1所述的多通道电阻测试系统,其特征在于,所述数据读取模块还连接于所述电流源,用于读取所述电流源提供的恒定电流,并基于读取的电压差值及恒定电流值,获取所述实际测试样品的电阻值。
3.根据权利要求2所述的多通道电阻测试系统,其特征在于,所述主控模块还连接于所述数据读取模块,用于读取所述电阻值,以记录所述实际测试样品及其对应的电阻值。
4.根据权利要求3所述的多通道电阻测试系统,其特征在于,所述主控模块包括:
主控单元,连接于N个所述正电压端控制开关及N个所述负电压端控制开关的控制端,用于向N个所述正电压端控制开关及N个所述负电压端控制开关发送所述测试选择信号;
读取单元,连接于所述主控单元和所述数据读取模块,用于读取所述实际测试样品及其对应的电阻值;
存储单元,连接于所述读取单元,用于记录所述实际测试样品及其对应的电阻值。
5.根据权利要求1至4任一项所述的多通道电阻测试系统,其特征在于,所述多通道切换开关控制模块还包括一电流端控制开关,其中所述电流端控制开关的第一连接端与所述正电流引出端或所述负电流引出端电连接,其第二连接端连接于所述电流源,其控制端接入所述测试选择信号,用于在所述测试选择信号的控制下闭合,以通过所述电流源为N个串联的所述待测试样品提供恒定电流。
6.根据权利要求1所述的多通道电阻测试系统,其特征在于,N个所述待测试样品通过所述样品支撑结构实现依次串联,同时于所述样品支撑结构上引出(2N+2)个引出端。
7.根据权利要求1或6所述的多通道电阻测试系统,其特征在于,所述样品支撑结构放置于低温环境中,所述多通道切换开关控制模块、所述电流源、所述数据读取模块及所述主控模块放置于常温环境中。
8.根据权利要求7所述的多通道电阻测试系统,其特征在于,所述测试系统还包括制冷模块,用于对所述待测试样品所在环境进行制冷处理,以使其达到预设低温。
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