[发明专利]金属靶材绑定焊料及其制备方法

说明书

本发明涉及一种金属靶材绑定焊料及其制备方法，该制备方法包括如下步骤：S1、配料：按重量比锡：银：铜=94~95%：4.99~5.99%：0.01~0.05%配料，混合均匀，放入一真空感应炉中；S2、抽真空：将真空感应炉抽真空至真空度小于3×10^‑3Pa，关闭真空泵，向真空感应炉通入保护气体至常压，真空感应炉再抽真空至真空度小于3×10^‑2Pa，关闭真空泵，然后向真空感应炉通入保护气体至10~50Pa；S3、第一段加热：开启感应加热，真空感应炉以第一升温速率升温至235~275℃，保温T1时间；S4、第二段加热：然后真空感应炉以第二升温速率升温至300‑450℃，保温T2时间；S5、出炉：停止加热，当温度降到30℃以下，出炉，得到焊料。本焊料原料简单易得，制备流程短，靶材的绑定焊合率均大于95%，浸润性高于铟。

技术领域

本发明涉及靶材制备领域，尤其涉及一种金属靶材绑定焊料及其制备方法。

背景技术

靶材一般都是通过焊料绑定在背板或背管上，为了保证靶材在溅射过程中不脱落，一般要求绑定焊合率要大于95%。

在靶材绑定的过程中，通常先用超声涂布设备，在靶材的绑定面涂抹一层焊料，使焊料充分、均匀的渗透到靶材里面，这样有利于靶材绑定的粘接效果。

目前常用的焊料为铟，但是对于金属靶材，如镍铂、钨钛靶材，铟对其表面的浸润效果比较差，经过超声涂布后，所绑定出来的靶材绑定焊合率达不到95%。

为解决上述技术问题，本发明提出一种金属靶材绑定焊料及其制备方法，使金属靶材的绑定焊合率大于95%。

发明内容

本发明的目的在于提出一种焊合率大于95%的金属靶材绑定焊料及其制备方法。

为实现前述目的，本发明采用如下技术方案：一种金属靶材绑定焊料的制备方法，其包括如下步骤：

S1、配料：按重量比锡：银：铜=94~95%：4.99~5.99%：0.01~0.05%配料，混合均匀，放入一真空感应炉中；

S2、抽真空：将真空感应炉抽真空至真空度小于3×10^-3Pa，关闭真空泵，向真空感应炉通入保护气体至常压，真空感应炉再抽真空至真空度小于3×10^-2Pa，关闭真空泵，然后向真空感应炉通入保护气体至10~50Pa；

S3、第一段加热：开启感应加热，真空感应炉以第一升温速率升温至235~275℃，保温T1时间；

S4、第二段加热：然后真空感应炉以第二升温速率升温至300-450℃，保温T2时间；

S5、出炉：停止加热，当温度降到30℃以下，出炉，得到焊料。

作为本发明的进一步改进，所述保护气体为5N或以上氮气、惰性气体。

作为本发明的进一步改进，第一升温速率为20~30℃/min。

作为本发明的进一步改进，第一升温速率为35~50℃/min。

作为本发明的进一步改进，T1时间为2~3h。

作为本发明的进一步改进，T2时间为2~5h。

本发明同时提出一种金属靶材绑定焊料，所述焊料的原料重量比锡：银：铜=94~95%：4.99~5.99%：0.01~0.05%。

相比于现有技术，本金属靶材绑定焊料的原料仅包括锡、银、铜三种金属，原料简单易得，且制备方法的流程短，而且经实际应用于镍铂、钨钛金属靶材上，金属靶材的绑定焊合率均大于95%，浸润性高于铟。

具体实施方式