[发明专利]机械化学线锯复合切割方法及切割液在审
| 申请号： | 201811464214.9 | 申请日： | 2018-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN109591196A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 赵礼刚;夏国锋;左雪;管小燕 | 申请（专利权）人： | 江苏科技大学 |
| 主分类号： | B28D1/00 | 分类号： | B28D1/00;B28D1/06;B28D7/02;C10M173/02;C10N30/06;C10N30/12;C10N30/04 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 212008 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 切割液 切割 锯丝 线锯 机械化 防锈 复合 表面活性剂 蓝宝石晶片 步进电机 反应溶剂 工件表面 工件水平 切割表面 切割过程 切割效率 去离子水 喷嘴 分散剂 缓蚀剂 有机碱 散热 进给 喷洒 冷却 安全 | ||
【权利要求书】：
1.一种机械化学线锯复合切割方法，其特征在于：包括以下步骤：
(1)将金刚石线锯切割机的锯丝靠近工件，对工件进行切割；
(2)工件通过步进电机完成水平进给；
(3)启动喷嘴系统，将切割液喷洒到工件表面；
(4)切割液在锯丝往复运动的带动下，进入到切割表面，切割液与切割表面发生微量化学反应。
2.一种用于权利要求1所述的机械化学线锯复合切割方法的切割液，其特征在于：所述切割液包括反应溶剂、分散剂、有机碱、缓蚀剂、表面活性剂、去离子水，所述反应溶剂为氢氧化钠，所述有机碱为二乙醇胺，使切割液呈碱性。
3.根据权利要求2所述的切割液，其特征在于：所述分散剂为聚乙二醇，其数均分子量为400。
4.根据权利要求2所述的切割液，其特征在于：所述缓蚀剂为有机羧酸。
5.根据权利要求2所述的切割液，其特征在于：所述表面活性剂由酚醚羧酸及酚醚羧酸盐复配而成。
6.根据权利要求2所述的切割液，其特征在于：所述反应溶剂占切割液总体的质量分数为5％-10％，所述分散剂占切割液总体的质量分数为25％-40％，所述有机碱占切割液总体的质量分数为6％-10％，所述缓蚀剂占切割液总体的质量分数为2％-6％，所述表面活性剂占切割液总体的质量分数为5％-10％，其余余量为去离子水。
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