[发明专利]机械化学线锯复合切割方法及切割液在审

专利信息
申请号: 201811464214.9 申请日: 2018-11-30
公开(公告)号: CN109591196A 公开(公告)日: 2019-04-09
发明(设计)人: 赵礼刚;夏国锋;左雪;管小燕 申请(专利权)人: 江苏科技大学
主分类号: B28D1/00 分类号: B28D1/00;B28D1/06;B28D7/02;C10M173/02;C10N30/06;C10N30/12;C10N30/04
代理公司: 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 代理人: 柏尚春
地址: 212008 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 切割液 切割 锯丝 线锯 机械化 防锈 复合 表面活性剂 蓝宝石晶片 步进电机 反应溶剂 工件表面 工件水平 切割表面 切割过程 切割效率 去离子水 喷嘴 分散剂 缓蚀剂 有机碱 散热 进给 喷洒 冷却 安全
【权利要求书】:

1.一种机械化学线锯复合切割方法,其特征在于:包括以下步骤:

(1)将金刚石线锯切割机的锯丝靠近工件,对工件进行切割;

(2)工件通过步进电机完成水平进给;

(3)启动喷嘴系统,将切割液喷洒到工件表面;

(4)切割液在锯丝往复运动的带动下,进入到切割表面,切割液与切割表面发生微量化学反应。

2.一种用于权利要求1所述的机械化学线锯复合切割方法的切割液,其特征在于:所述切割液包括反应溶剂、分散剂、有机碱、缓蚀剂、表面活性剂、去离子水,所述反应溶剂为氢氧化钠,所述有机碱为二乙醇胺,使切割液呈碱性。

3.根据权利要求2所述的切割液,其特征在于:所述分散剂为聚乙二醇,其数均分子量为400。

4.根据权利要求2所述的切割液,其特征在于:所述缓蚀剂为有机羧酸。

5.根据权利要求2所述的切割液,其特征在于:所述表面活性剂由酚醚羧酸及酚醚羧酸盐复配而成。

6.根据权利要求2所述的切割液,其特征在于:所述反应溶剂占切割液总体的质量分数为5%-10%,所述分散剂占切割液总体的质量分数为25%-40%,所述有机碱占切割液总体的质量分数为6%-10%,所述缓蚀剂占切割液总体的质量分数为2%-6%,所述表面活性剂占切割液总体的质量分数为5%-10%,其余余量为去离子水。

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