[发明专利]一种低温漂的混合表面等离激元加速度计

权利要求书

1.一种低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，包括可调谐等离激元定向耦合器、柔性表面等离激元波导和位于柔性表面等离激元波导表面的加速度质量块，该加速度质量块用于感应竖直方向上的加速度、增加加速度计的检测精度；所述可调谐等离激元定向耦合器包括上支等离激元波导、用于输入输出光学信号的下支等离激元波导、以及设置于下支等离激元波导上用于调节定向耦合器耦合系数的调制电极，所述上支等离激元波导两端与弯曲后的柔性表面等离激元波导两端分别连接、构成表面等离激元波导环形谐振腔，该表面等离激元波导环形谐振腔与可调谐等离激元定向耦合器所在平面垂直。

2.根据权利要求1所述的低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，所述可调谐等离激元定向耦合器的波导截面自下而上依次为第一衬底、第一下包层、第一芯层和第一上包层，其中，第一芯层的材质为金属材料，第一上包层、第一下包层的材质为二氧化硅，第一衬底为硅片或石英。

3.根据权利要求2所述的低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，所述第一芯层的厚度为6～50nm，宽度为2～20μm。

4.根据权利要求2所述的低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，所述第一上包层、第一下包层的厚度为5～50μm。

5.根据权利要求2所述的低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，所述第一芯层为条载形、矩形、脊形或倒脊形结构。

6.根据权利要求2所述的低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，所述金属材料为金、银、铜或铝。

7.根据权利要求1所述的低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，所述柔性表面等离激元波导的波导截面自下而上依次为第二衬底、第二下包层、第二芯层和第二上包层，其中，第二芯层的材质为金属材料，第二上包层、第二下包层的材质为柔性有机聚合物材料，第二衬底为柔性聚合物基底。

8.根据权利要求7所述的低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，所述第二芯层的厚度为6～50nm，宽度为2～20μm。

9.根据权利要求7所述的低温漂的混合表面等离激元加速度计，其特征在于，所述第二上包层、第二下包层的厚度为5～50μm。