[发明专利]一种电镀金属膜在线检测结构和检测方法

权利要求书

1.一种电镀金属膜在线检测结构，其特征在于，包括衬底(1)，衬底(1)上设有CPW信号输入端(21)、CPW信号输出端(22)、CPW信号中段(23)、CPW上地线(24)、CPW下地线(25)；所述CPW信号输入端(21)、CPW上地线(24)、CPW下地线(25)形成CPW输入端，所述CPW信号输出端(22)、CPW上地线(24)、CPW下地线(25)形成CPW输出端；

衬底(1)上还包括金属膜悬臂梁(3)、电感(4)、金属膜空气桥(5)和锚区(6)；所述电感(4)的一端与CPW信号输入端(21)相连，另一端通过锚区(6)与金属膜空气桥(5)相连；所述金属膜空气桥(5)的一端通过锚区(6)与电感(4)相连，另一端通过锚区(6)与CPW信号中段(23)相连；所述金属膜悬臂梁(3)一端通过锚区(6)与CPW信号中段(23)相连；所述金属膜悬臂梁(3)与CPW信号输出端(22)形成电容结构。

2.根据权利要求1所述的电镀金属膜在线检测结构，其特征在于，所述CPW信号输入端(21)、CPW信号输出端(22)、CPW信号中段(23)、CPW上地线(24)、CPW下地线(25)、金属膜悬臂梁(3)、电感(4)、金属膜空气桥(5)和锚区(6)均为电镀金属膜。

3.根据权利要求2所述的电镀金属膜在线检测结构，其特征在于，所述电镀金属膜的金属材料为铜、金或镍。

4.一种电镀金属膜在线检测方法，其特征在于，基于权利要求1-3任一所述的电镀金属膜在线检测结构，测量CPW输入端和CPW输出端之间的S21参数的谐振频率的幅值和频率值，测量金属膜悬臂梁(3)的机械谐振频率值。

5.根据权利要求4所述的电镀金属膜在线检测方法，其特征在于，当S21参数的谐振频率值大于设计值时，金属膜悬臂梁(3)与CPW信号输出端(22)之间的电容偏小，电镀金属膜含有张应力；当S21参数的谐振频率值小于设计值时，金属膜悬臂梁(3)与CPW信号输出端(22)之间的电容偏大，电镀金属膜含有压应力；通过标定得到电镀金属膜应力的大小。

6.根据权利要求4所述的电镀金属膜在线检测方法，其特征在于，当S21参数的谐振频率幅值小于设计值时，电镀金属膜的电阻率偏大；当S21参数的谐振频率幅值大于设计值时，电镀金属膜的电阻率偏小；通过标定得到电镀金属膜电阻率的大小。

7.根据权利要求4所述的电镀金属膜在线检测方法，其特征在于，当金属悬臂梁(3)的机械谐振频率值大于设计值时，金属悬臂梁(3)的弹性系数偏大，电镀金属膜的杨氏模量偏大；当金属悬臂梁(3)的机械谐振频率值小于设计值时，金属悬臂梁(3)的弹性系数偏小，电镀金属膜的杨氏模量偏小；通过标定得到电镀金属膜杨氏模量的大小。