[发明专利]电子束扫描多焦点反射式射线源装置

权利要求书

1.一种电子束扫描多焦点反射式射线源装置，其特征在于，包括射线源（1）；所述射线源（1）包括为X射线的发生提供真空环境的密闭的第一壳体（10）、设置在所述第一壳体（10）内的扫描束电子枪（20）、靶材组件（30）、准直器（40）以及控制组件（50）；

所述第一壳体（10）上设有电极组件（11），所述控制组件（50）与所述电极组件（11）和扫描束电子枪（20）电连接，所述电极组件（11）通过控制组件（50）为所述扫描束电子枪（20）提供电能；

所述靶材组件（30）与所述扫描束电子枪（20）间隔相对并可相对所述扫描束电子枪（20）移动；所述靶材组件（30）上设有多个间隔排布的受轰击位置，所述受轰击位置在所述扫描束电子枪（20）发出的电子束的轰击下发射出X射线；

所述准直器（40）设置在所述靶材组件（30）发射出X射线的一侧；所述准直器（40）上设有分别与每一个受轰击位置对应的多个准直窗口（41）；所述靶材组件（30）发射出的X射线通过所述准直窗口（41）发射到所述射线源外部的探测器（2）接收面上。

2.根据权利要求1所述的电子束扫描多焦点反射式射线源装置，其特征在于，所述射线源（1）还包括设置在所述第一壳体（10）内并与所述控制组件（50）电连接的第一驱动组件（60）；所述第一驱动组件（60）连接并驱动所述靶材组件（30）在水平方向上来回移动。

3.根据权利要求1所述的电子束扫描多焦点反射式射线源装置，其特征在于，所述靶材组件（30）的受轰击面相对电子束射出方向倾斜，与电子束射出方向之间形成夹角；

所述射线源还包括设置在所述第一壳体（10）内并与所述控制组件（50）电连接的第二驱动组件（70）；

所述第二驱动组件（70）连接并驱动所述靶材组件（30）沿着其受轰击面倾斜的方向来回移动。

4.根据权利要求1-3任一项所述的电子束扫描多焦点反射式射线源装置，其特征在于，沿着X射线射出的方向，所述准直窗口（41）的宽度从一端到相对另一端逐渐增大。

5.根据权利要求1-3任一项所述的电子束扫描多焦点反射式射线源装置，其特征在于，所述靶材组件（30）包括靶材基体（31）、固定在所述靶材基体（31）上的靶材（32）以及散热基体（33）；所述靶材（32）位于所述靶材基体（31）朝向所述扫描束电子枪（20）的一侧上，所述受轰击位置形成在所述靶材（32）上；所述散热基体（33）与所述靶材（32）接触以导出靶材（32）的热量。

6.根据权利要求5所述的电子束扫描多焦点反射式射线源装置，其特征在于，所述准直器（40）与所述散热基体（33）连接进行定位。

7.根据权利要求1-3任一项所述的电子束扫描多焦点反射式射线源装置，其特征在于，所述扫描束电子枪（20）包括外壳（21）、发出电子束的阴极灯丝及控制栅（22）、用于提高电子束的速度和动能的加速电极（23）、分别对电子束进行聚焦的第一聚焦系统（24）和第二聚焦系统（25）、对电子束在水平方向上进行调整的水平偏转系统（26）、以及对电子束在垂直方向上进行调整的垂直偏转系统（27）；

所述水平偏转系统（26）和垂直偏转系统（27）设置在所述外壳（21）朝向靶材组件（30）的一端上；所述加速电极（23）、第一聚焦系统（24）和第二聚焦系统（25）设置在所述外壳（21）内。

8.根据权利要求1-3任一项所述的电子束扫描多焦点反射式射线源装置，其特征在于，所述电子束扫描多焦点反射式射线源装置还包括外壳组件（80），所述射线源（1）设置在所述外壳组件（80）内；

所述外壳组件（80）内灌注散热油包覆所述射线源（1），将所述射线源（1）的热量导出扩散；

所述外壳组件（80）上设有与所述电极组件（11）电连接的电缆接头组件（83）。