[发明专利]一种铝合金靶材及其制备方法在审
| 申请号： | 201811470627.8 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109338313A | 公开（公告）日： | 2019-02-15 |
| 发明（设计）人： | 温艳玲;惠知;张学智 | 申请（专利权）人： | 河北冠靶科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C21/02;C22C21/14;C22C1/03;C22F1/043;C22F1/057 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 涂凤琴 |
| 地址： | 052360 河北省石家*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 铝合金靶 制备 稀土元素 熔融 熔融混合 母合金 膜层 材料加工技术 抗腐蚀性能 抗氧化性能 热膨胀系数 原子百分比 导电性 残余应力 导电性能 溅射镀膜 稀土合金 制备过程 铸锭 薄膜 压缩 | ||
1.一种铝合金靶材，其特征在于，以原子百分比计，包括：铜0.1-0.5％、硅0.1-0.5％和稀土元素0.01-0.1％，余量为铝。
2.根据权利要求1所述的铝合金靶材，其特征在于，所述稀土元素为镧、铈、镨、钕、钷、钐、铕、钆、铽、镝、钬中的一种或几种。
3.根据权利要求1所述的铝合金靶材，其特征在于，电阻率范围是4.5～3.0×10-6Ω·cm。
4.权利要求1-3任一所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)制备母合金：以铜、硅、稀土元素和部分铝混匀后熔融制成母合金；
(2)制备铝合金铸锭：将所述母合金与剩余铝混匀，进行真空熔铸，得到铝合金铸锭；
(3)塑性变形：将所述铝合金铸锭进行锻造、轧制和热处理，得到铝合金靶材。
5.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中，以原子百分比计，所述铜、硅和稀土元素的总量为母合金的1-5％。
6.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中，采用电弧熔融方法得到所述母合金，熔融加热温度为800-900℃；在步骤(2)中，真空熔铸温度为730-750℃，真空度小于0.01Pa。
7.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，锻造温度为360-480℃。
8.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，轧制温度为320-450℃。
9.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，轧制后的总变形量为50-70％。
10.根据权利要求4所述的铝合金靶材的制备方法，其特征在于，在步骤(3)中，热处理温度为320-450℃，时间为10-24小时。
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