[发明专利]形状测量设备在审
| 申请号： | 201811471963.4 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109945762A | 公开（公告）日： | 2019-06-28 |
| 发明（设计）人： | 岛冈敦;日高和彦 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B5/016 | 分类号： | G01B5/016;G01B5/30 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人： | 贺紫秋 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 形状测量设备 变形区域 基部 检测器 表面滑动 形变 联接基 联接件 摆动 触针 | ||
1.一种形状测量设备，包括：
基部；
臂，配置为相对于基部摆动；
联接件，联接基部和臂，联接件具有变形区域，该变形区域能在基部和臂之间弹性变形；和
形变检测器，安装在变形区域中。
2.如权利要求1所述的形状测量设备，进一步包括距离调整器，其调整基部和臂之间的距离，其中联接件用弹性材料形成。
3.如权利要求1所述的形状测量设备，进一步包括放置调整器，其调整形变检测器在变形区域中沿基部和臂的联接方向的位置。
4.如权利要求2所述的形状测量设备，进一步包括放置调整器，其调整形变检测器在变形区域中沿基部和臂的联接方向的位置。
5.如权利要求1所述的形状测量设备，进一步包括限制器，其在基部和臂之间的一部分中限制联接件的弹性变形，其中联接件用弹性材料形成。
6.如权利要求1所述的形状测量设备，其中联接件包括至少一个板簧，该至少一个板簧的中间部分包括变形区域。
7.如权利要求2所述的形状测量设备，其中联接件包括至少一个板簧，该至少一个板簧的中间部分包括变形区域。
8.如权利要求3所述的形状测量设备，其中联接件包括至少一个板簧，该至少一个板簧的中间部分包括变形区域。
9.如权利要求4所述的形状测量设备，其中联接件包括至少一个板簧，该至少一个板簧的中间部分包括变形区域。
10.如权利要求5所述的形状测量设备，其中联接件包括至少一个板簧，该至少一个板簧的中间部分包括变形区域。
11.如权利要求6所述的形状测量设备，其中该至少一个板簧为彼此交叉布置的至少一对板簧。
12.如权利要求7所述的形状测量设备，其中该至少一个板簧为彼此交叉布置的至少一对板簧。
13.如权利要求8所述的形状测量设备，其中该至少一个板簧为彼此交叉布置的至少一对板簧。
14.如权利要求9所述的形状测量设备，其中该至少一个板簧为彼此交叉布置的至少一对板簧。
15.如权利要求10所述的形状测量设备，其中该至少一个板簧为彼此交叉布置的至少一对板簧。
16.如权利要求6所述的形状测量设备，其中形变检测器包括安装在该至少一个板簧的相反表面上的一对压电元件，使得该至少一个板簧被夹在该一对压电元件之间。
17.如权利要求7所述的形状测量设备，其中形变检测器包括安装在该至少一个板簧的相反表面上的一对压电元件，使得该至少一个板簧被夹在该一对压电元件之间。
18.如权利要求8所述的形状测量设备，其中形变检测器包括安装在该至少一个板簧的相反表面上的一对压电元件，使得该至少一个板簧被夹在该一对压电元件之间。
19.如权利要求9所述的形状测量设备，其中形变检测器包括安装在该至少一个板簧的相反表面上的一对压电元件，使得该至少一个板簧被夹在该一对压电元件之间。
20.如权利要求10所述的形状测量设备，其中形变检测器包括安装在该至少一个板簧的相反表面上的一对压电元件，使得该至少一个板簧被夹在该一对压电元件之间。
21.如权利要求1所述的形状测量设备，进一步包括：
驱动器，其安装在变形区域中且驱使联接件变形。
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