[发明专利]电容式麦克风有效
| 申请号： | 201811472303.8 | 申请日： | 2018-12-04 |
| 公开（公告）号： | CN109511067B | 公开（公告）日： | 2020-12-25 |
| 发明（设计）人： | 荣根兰;孙恺;胡维;李刚 | 申请（专利权）人： | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R19/04 | 分类号： | H04R19/04 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤;董琳 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电容 麦克风 | ||
【权利要求书】：
1.一种电容式麦克风，其特征在于，包括：
振膜层；
背板，被绝缘支撑于所述振膜层表面，所述背板与所述振膜层构成可变电容；其特征在于，
所述背板包括堆叠设置的第一绝缘层、导电层和第二绝缘层，所述导电层位于所述第一绝缘层和第二绝缘层之间，所述振膜层与所述背板的第一绝缘层相对，且所述第二绝缘层的厚度小于第一绝缘层的厚度；
所述背板开设有声孔；
所述振膜层上开设有贯穿所述振膜层的泄气孔，且所述泄气孔与所述背板最外围的声孔位置相对。
2.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于，所述第二绝缘层至少覆盖所述导电层的表面。
3.根据权利要求2所述的电容式麦克风，其特征在于，所述第二绝缘层还覆盖所述导电层和第一绝缘层的侧壁。
4.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于，所述背板朝向振膜层的一侧表面设置有凸点。
5.根据权利要求4所述的电容式麦克风，其特征在于，所述凸点设置于相邻声孔之间的背板表面。
6.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于，所述泄气孔的形状包括圆形、方形或细槽中的至少一种。
7.根据权利要求1所述的电容式麦克风，其特征在于，还包括衬底，所述振膜层另一侧表面绝缘支撑于所述衬底表面，所述衬底内形成有与所述振膜层相对的背腔。
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