[发明专利]一种超声喷雾沉积薄膜装置和方法

权利要求书

1.一种超声喷雾沉积薄膜装置，其特征在于，包括支架（1），支架（1）上设有第一导轨支架（21）；所述第一导轨支架（21）上设置有第一步进电机（22）及Y轴方向设置的第一导轨（23），第一导轨上设置有第一滑块（24），第一步进电机（22）驱动第一滑块（24）在第一导轨（23）上进行Y轴方向位移；所述第一滑块（24）上固定有第二导轨支架（31），第二导轨支架（31）上设置有第二步进电机（32）和X轴方向设置的第二导轨（33），第二导轨（33）上设置有第二滑块（34），第二步进电机（32）驱动第二滑块（34）进行X轴方向位移；所述第二滑块（34）上设置有伸缩杆（4）；所述伸缩杆上设置有储液瓶（5），储液瓶（5）的瓶口设置有超声波雾化片（52）；第一步进电机（22）、第二步进电机（32）和超声波雾化片（52）均通过线路与设置于支架（1）上的控制器（6）连接；所述超声波雾化片（52）设置于储液瓶（5）的瓶口，通过瓶盖（51）旋于瓶口上将超声波雾化片（52）固定，瓶盖上开有雾化出口；所述储液瓶（5）竖直向下设置，超声波雾化片（52）竖直朝下，超声波雾化片（52）下方设置有加热热台（7），瓶盖（51）和超声波雾化片（52）之间设置垫圈（53）。

2.权利要求1所述的超声喷雾沉积薄膜装置进行超声喷雾沉积薄膜的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1，依次用清洁剂、去离子水、乙醇、丙酮清洗玻璃衬底，并分别超声清洗；步骤2，配置纳米材料前驱液，并装入储液瓶中；步骤3，将玻璃衬底放在加热热台上，在玻璃衬底上覆盖相应的钛金属掩膜板，加热玻璃衬底至一定温度；步骤4，将储液瓶上的超声波雾化片连入电路，通过控制器控制使超声波雾化片将纳米材料前驱液雾化，同时控制第一步进电机和第二步进电机按照程序设定轨迹将纳米材料前驱液雾化至已加热的玻璃衬底上，得到纳米薄膜。

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤2中所述纳米材料前驱液为二氧化钛前驱液、氧化锌前驱液、氧化镍前驱液、掺铝氧化锌前驱液、钙钛矿前驱液、聚乙烯二氧噻吩-聚(苯乙烯磺酸盐)前驱液或[6,6]-苯基-C61-丁酸异甲酯前驱液中的任意一种。

4.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，步骤2中所述纳米材料前驱液中采用的溶剂为乙醇、水、氯苯、丙醇、异丙醇、正丁醇、叔丁醇、乙腈、乙酸、二甲基乙醇胺、丙烯碳酸酯、甲酰胺、四氢呋喃、丙酮、甲乙酮或乙酸乙酯中的至少一种或几种的混合。

5.权利要求1所述的超声喷雾沉积薄膜装置在光电器件以及镀膜工艺中的应用。