[发明专利]一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置

说明书

本发明公开了一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置，属于化学气相沉积技术领域，包括：将荧光增白剂粉料装入升华杯中，将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空，利用冷却控制器控制真空沉积室区域温度，将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，打开升华杯加热开关，设定加热温度，保持恒温，使荧光增白剂粉料在升华杯内深度蒸发，关闭放料阀和加热电源，打开真空沉积室取出加工件，将加工件放置在检测台上，用紫外线灯进行照射检测。本发明通过将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，又不破坏镀膜的保护性，通过用紫外线灯照射来检测，可以对加工产品的效果有了直观的观察。

技术领域

本发明涉及一种镀膜工艺检测工艺及装置，特别是涉及一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置，属于化学气相沉积技术领域。

背景技术

化学气相沉积法是传统的制备薄膜的技术，广泛应用于半导体工业中多种材料的沉积，包括大范围的绝缘材料、大多数金属材料和金属合金材料，其原理是利用气态的先驱反应物，通过原子、分子间化学反应，使得气态前驱体中的某些成分分解或者相互之间反应，而在基体上沉积形成薄膜。

现有的派瑞林镀膜工艺为派瑞林材料在蒸发室加热气化后，在真空压差的作用下经过裂解室向镀膜室运动，并在裂解室内发生裂解反应，裂解后气体经过管道进入镀膜室后发生聚合反应形成防水、防腐膜层，但现有技术加工的镀膜材料无法用肉眼确认镀膜的包盖类型，为了保证客户在第一时间内对镀膜加工后的产品可靠性、直观的检测加工后的效果，又不破坏镀膜的保护性，而发明此项工艺技术。

发明内容

本发明的主要目的是为了提供一种便于检测派瑞林镀膜的加工工艺及加工装置，能够解决现有技术加工的镀膜材料不易检测的问题，通过在真空沉积室上设有升华杯，将荧光增白剂粉料升华均匀沉积在加工件上，用紫外线灯可以清楚而直观的进行检测。

本实发明的目的可以通过采用如下技术方案达到：

一种便于检测派瑞林镀膜的加工装置及其工艺，包括如下步骤：

步骤1：将荧光增白剂粉料装入升华杯中，将密封环密封，将加热环固定在升华杯上，将升华杯通过连接环和真空沉积室连接，并固定；

步骤2：将真空沉积室密封并通过真空系统抽至真空；

步骤3：利用冷却控制器将真空沉积室区域温度控制在20～80℃之间；

步骤4：将派瑞林材料放入蒸发室加热气化并经裂解室裂解反应后形成气体，气体进入真空沉积室；

步骤5：镀膜完成后，打开升华杯加热开关，并设定加热温度在310-440℃之间；

步骤6：到达设定温度后保持恒温10-30min，使荧光增白剂粉料在升华杯内深度蒸发，在真空作用下，升华后的荧光增白剂粉料被吸入真空沉积室；

步骤7：完成后，关闭加热电源，静置30min后，打开真空沉积室取出加工件；

步骤8：将加工件放置在检测台上，用紫外线灯进行照射检测。

进一步的，所述荧光增白剂粉料的熔点范围在360-390℃之间，所述荧光增白剂粉料具有升华作用的荧光材料及温度变色材料。

进一步的，所述派瑞林材料包括派瑞林C、派瑞林D、派瑞林N、派瑞林F及派瑞林HT中的一种。