[发明专利]一种工作台静压轴承的控制结构

权利要求书

1.一种工作台静压轴承的控制结构，包括工作台、静压轴承、主导轨和副导轨；所述主导轨和副导轨设置在工作台相对两侧；所述静压轴承两端分别贯穿设置在主导轨和副导轨内，其特征在于：所述主导轨与静压轴承之间采用伺服电机多头泵控制结构；所述副导轨与静压轴承之间采用可调式恒流量阀控制结构。

2.根据权利要求1所述的工作台静压轴承的控制结构，其特征在于：所述伺服电机多头泵控制结构在工作台处于不同的工作温度信号，以及不同的载荷间隙情况，采用不同转速，改变多头泵的流量，实现主导轨与静压轴承之间稳定的静压性能。

3.根据权利要求1所述的工作台静压轴承的控制结构，其特征在于：所述可调式恒流量阀控制结构通过每个阀的内反馈，恒定每个静压油腔的流量，实现对工作台面跳动误差的弥补。

4.根据权利要求1所述的工作台静压轴承的控制结构，其特征在于：所述伺服电机多头泵控制结构包括固定安装在静压轴承上的伺服电机以及可拆卸固定安装在伺服电机上的多头泵。

5.根据权利要求4所述的工作台静压轴承的控制结构，其特征在于：所述多头泵上的每个泵体均为高精度泵体。

6.根据权利要求1所述的工作台静压轴承的控制结构，其特征在于：所述可调式恒流量阀控制结构包括固定安装在静压轴承上的若干流量计以及可拆卸固定安装在流量计上的流量阀。

7.根据权利要求6所述的工作台静压轴承的控制结构，其特征在于：所述流量计的个数与静压轴承内静压油腔的个数相同。