[发明专利]图像快速获取微型芯片、制备方法及图像快速获取方法

权利要求书

1.一种图像快速获取微型芯片，其特征在于，包括：

MEMS扫描微镜，包含反射镜和扭臂；反射镜通过扭臂悬架在整个芯片中；

图像获取单元，设置于反射镜中，用于获取外界的光束；并且与外界电路元件相电连，通过外界电路元件来反馈图像信号；其中，MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，每摆动一次，向外反射光源光束，并且接收外界的反射光束。

2.根据权利要求1所述的图像获取微型芯片，其特征在于，所述图形获取单元为白光图像传感器、红外图像传感器或二者混合图像传感器。

3.根据权利要求1所述的图像获取微型芯片，其特征在于，所述图像获取单元中设置无线通讯模块；所述图像获取单元通过无线通讯信号与外界电路元件相电连；。

4.根据权利要求1所述的图像获取微型芯片，其特征在于，所述图像获取单元连接有传输电路，传输电路与所述扭臂相复合，利用传输扭臂提供的路径与外界电路元件相连。

5.根据权利要求4所述的图像获取微型芯片，其特征在于，所述芯片具有沟槽，所述扫描微镜置于所述沟槽中，并且通过扭臂连接所述扫描微镜外围的芯片部分；所述扫描微镜通过扭臂进行扭转。

6.根据权利要求3或5所述的图像获取微型芯片，其特征在于，环绕所述扫描微镜的所述芯片具有互连电路；所述互连电路连接所述反射镜和所述图像获取单元；所述芯片至少包括：

处理器，与所述扫描微镜和所述图像获取单元分别相电连，用于处理所述扫描微镜的驱动逻辑和所述图像获取单元的信息传输逻辑；

存储器，用于存储图像获取单元获取的图像数据。

7.根据权利要求1所述的图像获取微型芯片，其特征在于，所述图像获取微型芯片的厚度不大于500μm。

8.一种采用权利要求1所述的图像获取微型芯片进行的图像快速获取方法，其特征在于，包括以下过程：所述MEMS扫描微镜每摆动一次，向外反射光束的同时还接收外界的反射光束。

9.根据权利要求8所述的图像快速获取方法，其特征在于，具体包括：

步骤01：光源发射光束到MEMS扫描微镜；

步骤02：MEMS扫描微镜沿着扭臂进行摆动，从而对光源发射到所述MEMS扫描微镜上的光源光束进行快速扫描，并且通过所述反射镜反射到外界；

步骤03：所述图像获取单元随着所述MEMS扫描微镜的摆动而摆动；外界将所述光源光束进行反射形成反射光束到所述反射镜上，图像获取单元接收到反射光束生成图像信号。

10.根据权利要求9所述的图像快速获取方法，其特征在于，所述MEMS扫描微镜每摆动一次，扫描外界的反射光束生成一个像素。

11.根据权利要求10所述的图像快速获取方法，其特征在于，还包括：重复步骤02～03，利用所述MEMS扫描微镜来扫描外界的反射光束到图像获取单元获得完整的图像。

12.根据权利要求9所述的图像快速获取方法，其特征在于，所述步骤03中，所述图像获取单元通过无线通讯信号将图像信号传送到外界电路元件；或者，利用所述扭臂设置传输电路，利用传输电路将图像信号传送到外界电路元件。

13.根据权利要求9所述的图像快速获取方法，其特征在于，所述步骤02中，还包括：对所述MEMS扫描微镜的驱动逻辑进行处理，以及对图像获取单元的信息传输逻辑进行处理；

所述步骤03中，还包括：对所述图像获取单元生成的图像信号进行存储；并且进行格式转换，再发送到外界电路元件中。