[发明专利]微机电泵模块

权利要求书

1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：

一微处理器，输出一定电压及一变电压；

一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含：

一芯片本体；

多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；以及

至少一共电极，设置于该芯片本体且电连接该多个微机电泵的该第二电极；

其中，该微处理器分别电连接该多个微机电泵的该第一电极及该至少一共电极，以传输该定电压至该至少一共电极以及传输该变电压至该多个微机电泵的该第一电极。

2.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一共电极包含一第一共电极。

3.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵的第二电极电连接该第一共电极。

4.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一共电极更包含一第二共电极。

5.如权利要求4所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组及一第二微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一共电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第二共电极。

6.如权利要求4所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵的第二电极电连接该第一共电极与该第二共电极。

7.如权利要求4所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一共电极更包含一第三共电极及一第四共电极。

8.如权利要求7所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组、一第二微机电泵群组、一第三微机电泵群组及一第四微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一共电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第二共电极，该第三微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第三共电极，该第四微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第四共电极。

9.如权利要求7所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组及一第二微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一共电极与该第二共电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第三共电极与该第四共电极。

10.如权利要求7所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵的该第二电极电连接该第一共电极、该第二共电极、该第三共电极及该第四共电极。

11.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该变电压包含有一第一电压及一第二电压，该定电压的电压值介于该第一电压及该第二电压之间。

12.如权利要求11所述的微机电泵模块，其特征在于，该定电压的电压值为该第一电压的电压值及该第二电压的电压值其中间值±10％。

13.如权利要求11所述的微机电泵模块，其特征在于，该定电压的电压值为该第一电压的电压值及该第二电压的电压值其中间值。