[发明专利]微机电泵模块有效
| 申请号： | 201811477896.7 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN111271267B | 公开（公告）日： | 2022-08-09 |
| 发明（设计）人： | 莫皓然;余荣侯;张正明;戴贤忠;廖文雄;黄启峰;韩永隆;李伟铭 | 申请（专利权）人： | 研能科技股份有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/06 | 分类号： | F04B49/06;F04B19/00;F04B17/03 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 聂慧荃;郑特强 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 模块 | ||
1.一种微机电泵模块，其特征在于，包含：
一微处理器，发出一控制信号；
一微机电芯片，电连接该微处理器，该微机电芯片包含：
一芯片本体，为一长方形态样，具有一短边；
多个微机电泵，设置于该芯片本体，且分别具有一第一电极及一第二电极；
多个连接电极，设置于该芯片本体且邻近该短边，该多个连接电极分别电连接该多个微机电泵的该第一电极；以及
至少一共电极，设置于该芯片本体且邻近该短边，该至少一共电极电连接该多个微机电泵的该第二电极；
其中，所有该芯片本体上的该多个连接电极与该至少一共电极均分别电连接至该微处理器，以传输该控制信号至该多个微机电泵，且该至少一共电极包含一第一共电极及一第二共电极，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组及一第二微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一共电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第二共电极，以对该多个微机电泵进行分区控制。
2.如权利要求1所述的微机电泵模块，其特征在于，该至少一共电极更包含一第三共电极及一第四共电极。
3.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组、一第二微机电泵群组、一第三微机电泵群组及一第四微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一共电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第二共电极，该第三微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第三共电极，该第四微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第四共电极。
4.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵可区分为一第一微机电泵群组及一第二微机电泵群组，该第一微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第一共电极与该第二共电极，该第二微机电泵群组的该多个第二电极电连接该第三共电极与该第四共电极。
5.如权利要求2所述的微机电泵模块，其特征在于，该多个微机电泵的该第二电极电连接该第一共电极、该第二共电极、该第三共电极及该第四共电极。
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