[发明专利]一种掩模工艺机台新型卡盘在审
| 申请号： | 201811477911.8 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109461694A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张月圆;薛文卿 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/687 | 分类号： | H01L21/687 |
| 代理公司： | 连云港联创专利代理事务所(特殊普通合伙) 32330 | 代理人： | 刘刚 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 底架 卡盘 托盘 夹盘 两组 机台 掩模工艺 按钮槽 中心对称分布 规格一致 十字固定 环心 等距离分布 十字型分布 呈圆环状 上下端面 相对端部 内环壁 上端面 掩模板 掉落 按钮 甩片 报废 | ||
1.一种掩模工艺机台新型卡盘，包括底架(1)，其特征在于，所述底架(1)呈圆环状设置，所述底架(1)上端面固定安装有两组托盘(2)，两组所述托盘(2)关于底架(1)的环心做中心对称分布，两组所述托盘(2)规格一致，所述底架(1)两侧设有夹盘(3)，两个所述夹盘(3)一端均呈V字型设置，两个所述夹盘(3)规格一致，且关于底架(1)环心做中心对称分布，两个所述夹盘(3)以及两组托盘(2)四者之间呈十字型分布，所述底架(1)的内环壁固定安装有十字固定件(4)，所述十字固定件(4)两相对端部的上下端面均开设有三个按钮槽(5)，三个所述按钮槽(5)之间等距离分布，若干所述按钮槽(5)中的四个内均设有按钮(6)，两个所述夹盘(3)内部均开设有空心槽(7)，两个所述空心槽(7)的中部均固定安装有一个固定块(8)。
2.根据权利要求1所述的掩模工艺机台新型卡盘，其特征在于，两个所述按钮(6)分别插入空心槽(7)中，并且四个所述按钮(6)的端部与固定块(8)之间通过第一弹簧(9)固定连接。
3.根据权利要求1所述的掩模工艺机台新型卡盘，其特征在于，两个所述空心槽(7)的两个槽口处开设有按钮孔(10)，四个所述按钮孔(10)分别与四个按钮(6)相适配设计。
4.根据权利要求1所述的掩模工艺机台新型卡盘，其特征在于，所述十字固定件(4)中部开设有活动槽(13)，所述十字固定件(4)中部固定安装有隔块(11)，所述隔块(11)的高度等于活动槽(13)的槽宽。
5.根据权利要求4所述的掩模工艺机台新型卡盘，其特征在于，所述隔块(11)两侧边与两个夹盘(3)之间均通过两个第二弹簧(12)固定连接。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
