[发明专利]一种长寿命镍铁合金溅射靶材的制备方法在审
| 申请号： | 201811480260.8 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109267021A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 徐国进;罗俊锋;李勇军;贺昕;张巧霞;刘晓;高岩;宿晓敖;夏乾坤 | 申请（专利权）人： | 有研亿金新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 | 代理人： | 张文宝 |
| 地址： | 102200*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 溅射靶材 镍铁合金 长寿命 靶材 对靶 靶材使用寿命 制备技术领域 靶材利用率 薄膜均匀性 局部区域 磁导率 溅射 变形 | ||
【权利要求书】：
1.一种长寿命镍铁合金溅射靶材的制备方法，其特征在于，在靶材溅射面的溅射区域将靶材原溅射面厚度增加0.5-2mm，所述厚度增加区域面积大于靶材原溅射区域，且增加厚度区域的边缘与靶材原溅射区域之间呈斜坡状或圆弧状连接；所述靶材溅射面的非溅射区域为具有一定变形量的变形态；在靶材变形区域背面加工出一定尺寸的沟槽，进一步提高靶材溅射区域厚度2-4mm。
2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述靶材溅射面的溅射区域厚度为3.0-8.5mm。
3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述厚度增加区域大于靶材实际溅射区域。
4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述靶材溅射面的非溅射区域具有一定变形量的变形态，变形量为1％-20％。
5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述靶材为焊接型靶材。
6.权利要求1～5任一项制备方法得到的长寿命镍铁合金溅射靶材，其特征在于，所述靶材溅射面的非溅射区域磁导率低，透磁率高。
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