[发明专利]用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置

权利要求书

1.一种用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：包括安装支架（1）、二维微调平台（2）及射流腔体（3）；所述二维微调平台（2）与安装支架（1）固定相接；所述射流腔体（3）固定置于二维微调平台（2）中部；所述二维微调平台（2）采用中空结构；在所述二维微调平台（2）中心设有中心通孔（22）；

所述二维微调平台（2）包括固定外壳（6）、Y向位移平台（4）、X向位移平台（5）、Y向调节机构（7）及X向调节机构（8）；所述固定外壳（6）与安装支架（1）固定相接；所述Y向位移平台（4）与X向位移平台（5）经XY双向导轨（9）滑动相接；所述Y向调节机构（7）及X向调节机构（8）依次分别调节Y向位移平台（4）及X向位移平台（5）的水平位移；

所述射流腔体（3）包括外壳（13）、底座（14）、喷嘴体（15）及玻璃窗口安装结构（16）；所述玻璃窗口安装结构（16）套装于底座（14）中心位置；所述喷嘴体（15）固定设于底座（14）下部；所述外壳（13）固定置于底座（14）上部；在所述外壳（13）侧向开有进水孔（23）；在所述外壳（13）内部设有环形水槽；所述进水孔（23）与环形水槽相通；在所述底座（14）上均布设有数个通孔（24）；所述通孔（24）与所述环形水槽相通；所述玻璃窗口安装结构（16）包括中空水腔结构（17）、玻璃窗口（18）及玻璃压环（19）；所述中空水腔结构（17）在圆周方向上设置环形槽（25）；在所述环形槽（25）下部均布设置数个半圆形进水槽（26）；所述喷嘴体（15）包括喷嘴安装座（20）及喷嘴（21）；在所述喷嘴安装座（20）上表面设有中心射线分布水槽（27）；所述中心射线分布水槽（27）与半圆形进水槽（26）相对应。

2.根据权利要求1所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：所述进水孔（23）的外径为6mm；所述环形水槽宽度为3mm，深度为2 .5mm。

3.根据权利要求2所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：所述通孔（24）为6个，其外径为3mm。

4.根据权利要求3所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：所述环形槽（25）的宽度为4mm ,深度为3 .8mm；所述半圆形进水槽（26）为6个。

5.根据权利要求4所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：所述喷嘴安装座（20）采用不锈钢材料；所述喷嘴（21）采用人造蓝宝石材料；所述喷嘴（21）外径为2mm；所述喷嘴（21）中心开30～500μm圆孔；所述喷嘴（21）上下表面及圆孔内壁表面粗糙度Ra≤0 .014；圆孔边缘倒角≤0 .5μm；圆孔长径比≤3。

6.根据权利要求5所述的用于微水束与激光耦合的高压微水束的射流装置，其特征在于：在所述底座（14）、外壳（13）及喷嘴体（15）结构上设置环形密封槽。