[发明专利]基于M-Z干涉结构的古斯汉森位移型SPR传感器有效
| 申请号： | 201811481736.X | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109470661B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 刘振超;王怡沁;何赛灵 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 忻明年 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 干涉 结构 古斯汉森 位移 spr 传感器 | ||
1.基于M-Z干涉结构的古斯汉森位移型SPR传感器，包括激光器、偏振分光棱镜、SPR传感模块、分束镜、平面反射镜、楔形基板、偏振片、光强探测器，其特征在于：激光光源发出的光由偏振分光棱镜和反射镜的组合下分为独立的两束TM光和TE光，通过SPR传感模块后，将古斯汉森位移通过M-Z干涉结构转化为光程差量，并发生干涉，干涉光通过偏振片后由光强探测器检测得干涉光强；
所述的M-Z干涉结构由两个分束镜、两个平面反射镜和一个楔形基板组成，光束经第一个分束镜后分振幅为两束光，其中一束光经过楔形基板后，经过一个平面反射镜反射，与另一束光经另一个平面反射镜反射后在第二个分束镜处合为一束，并发生干涉。
2.根据权利要求1所述的基于M-Z干涉结构的古斯汉森位移型SPR传感器，其特征在于：所述的M-Z干涉结构中分束镜与平面反射镜互相平行且都与光束夹角为45°。
3.根据权利要求1所述的基于M-Z干涉结构的古斯汉森位移型SPR传感器，其特征在于：两面反射镜相互垂直且与和两个偏振分光棱镜的连线夹角为45°。
4.根据权利要求1所述的基于M-Z干涉结构的古斯汉森位移型SPR传感器，其特征在于：在M-Z干涉结构的两路光路中，其中一路光路中放置楔形基板将古斯汉森位移转换为光程差，楔形基板用折射棱镜或非平行平面反射镜组替代，另一光路中不放置楔形基板或放置不同楔角的楔形基板或者平行平板。
5.根据权利要求1所述的基于M-Z干涉结构的古斯汉森位移型SPR传感器，其特征在于：通过调整偏振片角度使得透过偏振片后的光只为TM光或者TE光，来实现分别对TM光和TE光干涉光强的测量。
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