[发明专利]蒸镀坩埚有效
| 申请号： | 201811482603.4 | 申请日： | 2018-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN109355628B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | 匡友元 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/26 | 分类号： | C23C14/26;C23C14/12 |
| 代理公司： | 44265 深圳市德力知识产权代理事务所 | 代理人： | 林才桂;程晓 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 蒸镀材料 导热装置 坩埚本体 坩埚 蒸镀 横向传递 受热 侧壁 横向温差 热传导性 热良导体 轴向延伸 蜂窝状 裂解 并列 容纳 | ||
1.一种蒸镀坩埚，其特征在于，包括坩埚本体(1)及设于坩埚本体(1)内部的导热装置(2)；
所述坩埚本体(1)包括坩埚底(11)及与所述坩埚底(11)相连的侧壁(12)；
所述导热装置(2)固定连接在侧壁(12)上，且所述导热装置(2)呈蜂窝状，具有多条并列沿所述坩埚本体(1)轴向延伸的用于容纳蒸镀材料的通道(21)；
所述导热装置(2)具有一层或多层贯穿所述多条通道(21)的镂空结构(22)；
所述镂空结构(22)作为缓冲层用于容纳蒸镀材料并使得所有通道(21)在此处相连通。
2.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述通道(21)的数量为两条或两条以上。
3.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚本体(1)的材料为银、钛、铝或不锈钢。
4.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热装置(2)的材料为银、钛、铝或不锈钢。
5.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述导热装置(2)的材料与所述坩埚本体(1)的材料相同。
6.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述坩埚本体(1)及导热装置(2)由一金属棒经机械加工去除材料得到。
7.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，所述侧壁(12)的内表面相对于坩埚底(11)倾斜设置；
所述导热装置(2)具有与所述侧壁(12)内表面完全贴合的外侧表面，所述导热装置(2)通过自身重力卡合连接在所述侧壁(12)的内表面上。
8.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，还包括设于所述坩埚本体(1)上方的上盖部(3)，所述上盖部(3)的中心设有出气孔(31)。
9.如权利要求1所述的蒸镀坩埚，其特征在于，还包括套设在所述坩埚本体(1)外侧用于对蒸镀材料进行加热的加热线圈(4)。
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