[发明专利]一种高精度机械抛光液制备方法

说明书

本发明公开一种高精度机械抛光液制备方法，以重量份计，包括有以下工艺步骤：(1)将8‑10石英石粉、0.5‑1.5份油酸、4‑5份的去离子水，放入超声波搅拌器搅拌20‑30min，进行研磨，得到湿润的石英石微粉；(2)将步骤(1)得到的石英石微粉与0.2‑0.3份的乙基纤维素钠、0.1‑0.2份的六偏磷酸钠、1.4‑1.5份的玻璃纤维、22‑24份的去离子水充分混合，得的混合溶液；(3)向步骤(2)得到的混合溶液放入蒸压釜中，蒸汽压力为1.5‑2.5Mpa，蒸压2‑4h，然后冷却至常温，加入pH调节剂调节混合溶液的pH值至8‑10；本发明具有生产成本降低的优点，同时该抛光液具有平化抛光效率高，不损伤工件表面的优点。

技术领域

本发明涉及机械抛光液领域，具体属于一种高精度机械抛光液制备方法。

背景技术

化学机械抛光由化学作用、机械作用以及这两种作用结合而成。它通常由一个带有抛光垫的研磨台，及一个用于承载芯片的研磨头组成。其中研磨头固定住芯片，然后将芯片的正面压在抛光垫上。当进行化学机械抛光时，研磨头在抛光垫上线性移动或是沿着与研磨台一样的运动方向旋转。与此同时，含有研磨颗粒的浆液被滴到抛光垫上，并因离心作用平铺在抛光垫上。芯片表面在机械和化学的双重作用下实现全局平坦化。

目前，化学机械抛光液所用的研磨颗粒通常采用二氧化硅，包括硅溶胶和气相二氧化硅。它们本身是固体，但是在水溶液中可以均匀分散，不沉降，甚至可以保持1至3年的长期稳定性。

发明内容

本发明的目的是提供一种高精度机械抛光液制备方法，具有生产成本降低的优点，同时该抛光液具有平化抛光效率高，不损伤工件表面的优点。

本发明所采用的技术方案如下：

一种高精度机械抛光液制备方法，以重量份计，包括有以下工艺步骤：

(1)将8-10份石英石粉、0.5-1.5份油酸、4-5份的去离子水，放入超声波搅拌器搅拌20-30min，进行研磨，得到湿润的石英石微粉；

(2)将步骤(1)得到的石英石微粉与0.2-0.3份的乙基纤维素钠、0.1-0.2份的六偏磷酸钠、1.4-1.5份的玻璃纤维、22-24份的去离子水充分混合，得的混合溶液；

(3)向步骤(2)得到的混合溶液放入蒸压釜中，蒸汽压力为1.5-2.5Mpa，蒸压2-4h，然后冷却至常温，加入pH调节剂调节混合溶液的pH值至8-10；

(4)将混合溶液的含水率蒸发至60-65％，进行密封灌装成抛光液成品。所述的石英石粉是经过球磨粉碎、过筛、提纯工序制得。

所述超声波搅拌器的超声频率为30KHz-50KHz。

本发明通过石英石作为磨料，以六偏磷酸钠对石英石微粉进行改性，并乙基纤维素钠作为分散剂将石英石高度分散稳定性，同时通过高度浓缩可以大幅降低产品原材料成本。本发明具有生产成本降低的优点，同时该抛光液具有平化抛光效率高，不损伤工件表面的优点。

具体实施方式

实施例一：

(1)将8份石英石粉、0.5份油酸、4份的去离子水，放入超声波搅拌器搅拌20min，进行研磨，得到湿润的石英石微粉；石英石粉是经过球磨粉碎、过筛、提纯工序制得，超声波搅拌器的超声频率为30KHz-50KHz；

(2)将步骤(1)得到的石英石微粉与0.2份的乙基纤维素钠、0.1份的六偏磷酸钠、1.4份的玻璃纤维、22份的去离子水充分混合，得的混合溶液；

(3)向步骤(2)得到的混合溶液放入蒸压釜中，蒸汽压力为1.5-2.5Mpa，蒸压2-4h，然后冷却至常温，加入pH调节剂调节混合溶液的pH值至8-10；