[发明专利]一种便于维护和调节的射频离子源装置

权利要求书

1.一种便于维护和调节的射频离子源装置，其特征在于，包括：外壳、栅极组件(1)、放电室(9)、离子源进气单元、可调线圈支架组件和线圈(10)；

所述外壳的前盖(2)和后座(5)采用可拆分的连接方式与外壳主体固定；

栅极组件(1)与放电室(9)配合安装后，固定于外壳的前盖(2)；离子源供气单元固定于外壳的后座(5)，离子源供气单元的气路接头伸入放电室上开设的供气孔(9-1)，对放电室供气；

线圈(10)通过可调线圈支架组件缠绕于放电室外壁，可调线圈支架组件固定于外壳的后座(5)，且高度可调；线圈端部通过穿壳绝缘组件(4)穿出外壳；可调线圈支架组件与线圈接触的部分采用绝缘材料；

所述离子源供气单元包括气路绝缘器(6)、气路接头(16)、上安装法兰(17)和下安装法兰(18)；气路绝缘器(6)和气路接头(16)通过上安装法兰(17)和下安装法兰(18)固定连接后，气路绝缘器(6)固定于外壳的后座(5)，气路接头(16)伸入放电室上开设的供气孔(9-1)。

2.如权利要求1所述的射频离子源装置，其特征在于，放电室(9)的供气孔(9-1)处设置卡槽配合安装保护机构，该卡槽配合安装保护机构由穿孔卡槽(15)、平垫圈(13)和挡圈(14)组成；穿孔卡槽(15)设置在供气孔(9-1)内，穿孔卡槽(15)一端加工有直径大于所述供气孔(9-1)的外沿，另一端套入平垫圈(13)和挡圈(14)，并通过所述外沿与挡圈(14)的配合，实现穿孔卡槽(15)在所述供气孔(9-1)处的定位。

3.如权利要求1所述的射频离子源装置，其特征在于，所述穿壳绝缘组件(4)由压板(4-1)和2个穿壳绝缘陶瓷(4-2)组成；穿壳绝缘陶瓷(4-2)上端穿过压板(4-1)通孔，下端穿过后座(5)上通孔，通过压板(4-1)安装在后座(5)上；线圈端部通过穿壳绝缘陶瓷(4-2)提供的通道伸出外壳；穿壳绝缘陶瓷(4-2)是由2个对半切开的部分对合组成，对线圈进行夹紧固定。

4.如权利要求1所述的射频离子源装置，其特征在于，所述可调线圈支架组件由线圈安装架(3)和可调高度的支撑组件组成；线圈安装架(3)上开设有用于穿过线圈的安装孔，线圈安装架(3)通过支撑组件固定于后座(5)；线圈安装架(3)采用绝缘材料。

5.如权利要求4所述的射频离子源装置，其特征在于，所述支撑组件由支撑架(7)和支撑板(8)组成；支撑架(7)为L型机构，一直角边固定于后座(5)，另一直角边上开有U型槽；支撑板(8)上开设有多个可供选择的定位孔；线圈安装架(3)与支撑板(8)之间，以及支撑板(8)与支撑架(7)之间均通过螺栓固定；通过调整支撑板(8)上定位孔与支撑架(7)U型槽的螺栓连接配合位置，实现线圈能量与放电室不同位置的耦合。

6.如权利要求4或5所述的射频离子源装置，其特征在于，线圈安装架(3)由两个部分对合而成，这两个部分均开设有半圆结构安装孔，对合后形成圆形结构安装孔，用于穿过线圈。

7.如权利要求1所述的射频离子源装置，其特征在于，所述栅极组件(1)与放电室(9)配合安装的方式为：放电室(9)外壁固定有放电室安装环(12)，栅极组件中的栅极组件安装环(11)与放电室安装环(12)通过螺栓连接，连接后形成的结构进一步通过栅极组件安装环(11)上提供的安装孔与前盖(2)螺栓连接。

8.如权利要求1所述的射频离子源装置，其特征在于，所述外壳包括前盖(2)、圆筒形外壁(19)和后座(5)，三者通过螺栓连接。

9.如权利要求1所述的射频离子源装置，其特征在于，所述放电室(9)、穿壳绝缘组件(4)的材料为氧化铝陶瓷。