[发明专利]高性能靶材用多主元合金材料及其制备方法有效
| 申请号： | 201811486797.5 | 申请日： | 2018-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN109338315B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 聂绍乾;王志新;张志汉;马明星 | 申请（专利权）人： | 郑州启航精密科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C30/02;C22C1/05 |
| 代理公司： | 郑州科硕专利代理事务所(普通合伙) 41157 | 代理人： | 侯立曼 |
| 地址： | 450000 河南省郑州市新郑市龙湖镇107国道西侧、翠竹路*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 性能 靶材用多主元 合金材料 及其 制备 方法 | ||
1.高性能靶材用多主元合金材料的制备方法，其特征在于具体步骤如下：
(1)按化学式CexCoCrCuFeMnyZrz的计量比分别称取二氧化铈和各种纯金属粉末，其中0.1≤x≤0.4；0.1≤y≤1.3；0.1≤z≤1.3；0.01x/(x+y+z+4)0.10；0.01y/(x+y+z+4)0.25；0.01z/(x+y+z+4)0.25；
(2)将称量好的各种原料置于球磨罐中，加入不锈钢球，然后在保护气体环境下将放有原料的球磨罐密封起来；
(3)将上述密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料；
(4)将上述均匀混料后的粉末在保护气氛环境下装入石墨模具，然后放电等离子烧结即得所需多主元合金材料。
2.如权利要求1所述的高性能靶材用多主元合金材料的制备方法，其特征在于在步骤(1)中所述二氧化铈的纯度高于99.9％，所述各种纯金属粉末的纯度均高于99.5％。
3.如权利要求1所述的高性能靶材用多主元合金材料的制备方法，其特征在于在步骤(2)和步骤(4)中所述保护气体为氩气或氮气。
4.如权利要求1所述的高性能靶材用多主元合金材料的制备方法，其特征在于在步骤(2)中所述不锈钢球的加入量为球料质量比5:1-10:1。
5.如权利要求1所述的高性能靶材用多主元合金材料的制备方法，其特征在于在步骤(3)中混料转速为50～250rpm，时间为0.5-6h。
6.如权利要求1所述的高性能靶材用多主元合金材料的制备方法，其特征在于在步骤(4)中放电等离子烧结温度1000-1400℃，时间为0.5-3h，压力为20-35MPa。
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