[发明专利]PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料及其制备方法

权利要求书

1.PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料，其特征在于多主元合金的化学式为CoCrCuFeMnNb_xY_yZr_z，其中0.1≤x≤1.3；0.1≤y≤0.4；0.1≤z≤1.3；0.01<x/(x+y+z+5) <0.25；0.01<y/(x+y+z+5) <0.10；0.01<z/(x+y+z+5) <0.25；

所述的PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料的制备方法，步骤如下：

（1）按化学式CoCrCuFeMnNb_xY_yZr_z化学计量比分别称取各种纯金属粉末和氧化钇；

（2）将称量好的原料置于球磨罐中，加入不锈钢球，然后在保护气体环境下将放有原料的球磨罐密封起来；

（3）将上述密封好的球磨罐置于行星式球磨机上进行混料；

（4）将上述均匀混料后的粉末在保护气氛环境下装入石墨模具，然后放电等离子烧结即得多主元合金块体材料；

（5）将上述多主元合金块体加工成所需的标准靶材尺寸，安装放入靶材座上；

（6）将被镀膜工件放入PVD真空腔内样品架上，抽真空；

（7）向上述真空腔内充入高纯氩气作为工作气体，加热，清洗，镀膜，冷却，取出样品。

2.如权利要求1所述的PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料，其特征在于步骤（1）中所述各种纯金属粉末的纯度均高于99.5%，所述氧化钇的纯度高于99.9%。

3.如权利要求1所述的PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料，其特征在于步骤（2）和步骤（4）中所述保护气体为氩气或氮气。

4.如权利要求1所述的PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料，其特征在于步骤（2）中所述不锈钢球的加入量为球料质量比5:1~10:1。

5.如权利要求1所述的PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料，其特征在于步骤（3）中所述混料转速为50~250rpm，时间为0.5~12h。

6.如权利要求1所述的PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料，其特征在于步骤（4）中所述放电等离子烧结温度1400~1600℃，时间为0.5~3h，压力为20~35MPa。

7.如权利要求1所述的PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料，其特征在于步骤（6）中所述抽真空真空度达到10^-3~10^-4Pa。

8.如权利要求1所述的PVD用高强高耐磨多主元合金涂层材料，其特征在于步骤（7）中所述高纯氩气纯度不低于99.99%；所述加热温度为100~500℃；所述清洗的靶电流为20~180A，偏压为-15~-20V；所述镀膜的靶电流为100~200A，偏压为-25~-40V。