[发明专利]一种基于微型真空泵测量惰性气体抽速的装置及方法

权利要求书

1.一种基于微型真空泵测量惰性气体抽速的装置，其特征在于，包括气体微流量源、测试罩、真空抽气系统、活性气体抽气系统、磁悬浮转子真空计及待测微型真空泵；

所述气体微流量源用于提供微流量惰性气体；真空抽气系统用于对测试罩内抽真空；活性气体抽气系统用于抽出活性气体，且抽速比待测微型真空泵的抽速大10⁴倍，同时对惰性气体无抽速；

气体微流量源通过管路与测试罩连接，真空抽气系统通过管路与测试罩连接，预先对测试罩内抽真空；待测微型真空泵通过管路与测试罩连接；活性气体抽气系统通过管路与测试罩连接，在测试过程中活性气体抽气系统与待测微型真空泵一起抽出测试罩中的气体，并由磁悬浮转子真空计测量动态平衡下的测试罩内的气体压力。

2.如权利要求1所述的基于微型真空泵测量惰性气体抽速的装置，其特征在于，所述真空抽气系统包括电离真空计、阀门及抽气泵；

抽气泵通过阀门与测试罩连接，电离真空计用于测量测试罩中的本底气体压力。

3.如权利要求1所述的基于微型真空泵测量惰性气体抽速的装置，其特征在于，所述活性气体抽气系统采用非蒸散型吸气剂泵。

4.一种基于微型真空泵测量惰性气体抽速的方法，其特征在于，采用如权利要求2所述的装置，具体操作步骤如下：

步骤一、打开阀门及抽气泵，开启电离真空计；

步骤二、用电离真空计测量测试罩内的本底气体压力，当本底气体压力测量值小于1×10^-6Pa时，打开活性气体抽气系统，直至测试罩内压力值保持不变时，关闭阀门及抽气泵；

步骤三、开启待测微型真空泵，开启磁悬浮转子真空计；

步骤四、开启气体微流量源，将微流量惰性气体引入测试罩内，用磁悬浮转子真空计测量动态平衡下的测试罩的压力；

步骤五、根据流量守恒定律，气体微流量源提供的惰性气体流量被待测微型真空泵抽走，用压力与流量的关系式求出待测微型真空泵对惰性气体的抽速。

5.如权利要求4所述的基于微型真空泵测量惰性气体抽速的方法，其特征在于，所述活性气体抽气系统采用非蒸散型吸气剂泵。