[发明专利]一种高效检测导电薄膜质量的方法

权利要求书

1.一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：连续采集导电薄膜的信息，根据连续采集的信息及计算出的信息参数判定导电薄膜的质量；所述信息包括但不限于电压、电流、位置，所述信息是连续信息，所述连续信息是连续采集所测导电薄膜不同位置的信息；所述信息参数选自电压、电阻、电阻率、导电率、电导率中的一种或多种，由电压或电流信息及所测区间材料的尺寸信息计算得到；将所获实际信息参数与标准信息参数进行比对，当|实际信息参数-标准信息参数|/标准信息参数大于等于缺陷判断阈值时，判定所获实际信息参数对应区域存在缺陷，当|实际信息参数-标准信息参数|/标准信息参数小于缺陷判断阈值时，则判定所获实际信息参数对应区域质量合格；检测时，检测装置和所测导电薄膜可以相对运动。

2.根据权利要求1所述的一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：所述缺陷判断阈值用P_r表示，当信息参数为电阻，且所用单位为Ω时，所述P_r的取值大于等于0.0001，优选为0.0001～0.1，进一步优选为0.0001～0.01，更进一步优选为0.0001～0.001；当信息参数之间进行替换时，所述P_r的取值进行相应换算。

3.根据权利要求1或2所述的一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：当|实际信息参数-标准信息参数|/标准信息参数大于等于P_r时，判定所测区域至少包括1种或1个缺陷；计算P_y，所述P_y＝(Y_m-Y_s)÷Y_s，所述Y_s是标准信息参数，所述Y_m是实际信息参数的最大值或最小值，所述P_y为缺陷判定因子；当信息参数选用电压信息和/或电阻和/或电阻率时，Py＞0，缺陷种类包括但不限于针眼、针孔、划痕、凹陷、尺寸变小、撕裂、裂纹，Py＜0，缺陷种类包括但不限于凸起、弯折、褶皱、尺寸变大；当信息参数选用导电率和/或电导率时，P_y＜0，缺陷种类包括但不限于针眼、针孔、划痕、凹陷、尺寸变小、撕裂、裂纹，P_y＞0，缺陷种类包括但不限于凸起、弯折、褶皱、尺寸变大。

4.根据权利要求1所述的一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：所述标准信息参数为标样的信息参数，所述标样可以根据标准确定，所述标准为国家标准、行业标准或企业标准。

5.根据权利要求1所述的一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：所述标准信息参数还可以由用户确定，或根据用户确定的标样进行检测和/或计算获得。

6.根据权利要求4或5所述的一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：获取标准信息参数时，标样的检测环境与实际检测环境相同，所述检测环境包括但不限于温度、压强、湿度、噪音。

7.根据权利要求1所述的一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：所述连续信息的采集方法包括但不限于直流四点法、单电桥法、双电桥法。

8.根据权利要求1所述的一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：检测装置通过接触端与导电薄膜接触，其中有2个采集信息的接触端，接触端与导电薄膜的接触方式包括但不限于点接触、阵列接触、线接触、面接触；任一接触端与导电薄膜的接触面积小于等于500mm2，优选为小于等于100mm²，进一步优选为小于等于20mm²，更进一步优选为小于等于2mm²。

9.根据权利要求8所述的一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：与导电薄膜接触的2个信息采集接触端的间距小于等于800mm，优选为小于等于400mm，进一步优选为小于等于200mm，更进一步优选为小于等于100mm。

10.根据权利要求1所述的一种高效检测导电薄膜质量的方法，其特征在于：检测时，信息采集频率、检测装置与导电薄膜之间的相对运动速度、信息采集接触端间距三者间的关系为：相对运动速度÷信息采集频率＜信息采集接触端间距；所述信息采集频率大于等于1次/10秒，优选为大于等于1次/秒，更进一步优选为大于等于10次/秒。