[发明专利]滤材卡匣及用以承载滤材卡匣的滤材箱

说明书

本发明提供一种滤材卡匣及用以承载滤材卡匣的滤材箱，滤材卡匣包括一框架、复数个滤材件及复数个密封层，框架的边框内设置复数个导槽，每一导槽的内壁设有第一凸部，滤材件的框体外表面设有第二凸部，滤材件的框体外围设一密封层，当滤材件插设在导槽时，密封层被挤压在第一凸部及第二凸部间；滤材箱包括一底板、复数个侧板及一顶部开口，底板包括至少一出风口，两个对应侧板的内表面上有多个定位凸条，每两个相邻且平行的定位凸条间隔出一定位信道，每一滤材卡匣的两侧端分别被两侧板的定位通道所定位，至少一盖板盖住部分顶部开口以形成有至少一进风口。

技术领域

本发明涉及一种滤材卡匣及滤材箱，尤指一种用以过滤挥发性有机物、酸及碱的滤材卡匣及承载滤材卡匣的滤材箱。

背景技术

在半导体制程中，常需要使用特殊的气体或液体协助进行半导体组件的制作，然而，特殊气体或液体的使用容易产生一些挥发性有机物(Volatile Organic Cornpounds,VOCs)、酸及碱性的气体。若无法提供有效的空气净化，这些气体将会因内部循环而回到半导体的无尘室内，将影响到制程的合格率。

为了避免挥发性有机物、酸及碱性的气体散布于无尘室中，于无尘室的气流循环系统中常会设置一风机滤网机组(FFU)，风机滤网机组中具有空气过滤效果的滤材箱将设置在风车上。滤材箱将作为气流循环系统的进气的过滤，以将挥发性有机物、酸及碱性的气体进行滤除，而提供干净的空气。

以往滤材欲组装至可承载的滤材箱时，滤材件不易对位组装在滤材箱上，且滤材必须采用黏胶方式固定在滤材箱上，再者，为了避免欲过滤的气体从滤材与滤材箱的内部板体间的空隙旁通，通常会使用黏胶填缝，于是滤材通过多道黏胶程序固定在滤材箱中。

当滤材箱中的滤材其使用寿命已达需更换的时刻，由于滤材采用黏胶方式固定在滤材箱上，若要回收滤材箱，拆除黏固在滤材箱中的滤材是必需花费不少的工夫及时间成本，因此，现今常见做法，滤材用完后，将会把滤材及其承载的滤材箱一同丢弃。如此作法，不仅会造成环境的污染，且也会造成箱体成本的浪费。

发明内容

有鉴于此，本发明将提供一种创新结构的滤材箱，其滤材件容易组装至滤材箱中，并且，当滤材件的使用寿命到达而需更换时，是可以轻易地从滤材箱中进行抽换，以便滤材箱可以重复使用，避免造成环境的污染，将会是本发明欲达到的目的。

为达成上述目的，本发明提供一种滤材卡匣，其特征在于，包括：

一框架，包括有多个边框，所述框架的边框内部设置有复数个导槽，每一所述导槽的内壁分别设置有复数个第一凸部；及，

复数个滤材件，包括有一框体及一设置在所述框体中的滤材，所述框体的外表面设置有复数个第二凸部，其中所述滤材件的所述框体外围分别环设一密封层；

所述滤材件插设在所述框架中的所述导槽中，所述密封层被挤压在所述第一凸部及所述第二凸部间。

所述的滤材卡匣，其中，所述滤材件插设在所述框架中的所述导槽中，所述密封层被所述至少两第一凸部紧迫地挤压在所述至少两第二凸部间，或者所述密封层被所述至少两第二凸部紧迫地挤压在所述至少两第一凸部间。

所述的滤材卡匣，其中，所述框架还包括有一开口框，所述开口框连接在所述框架的两侧边框之间，每一所述滤材件经由所述开口框进入对应的所述导槽中。

所述的滤材卡匣，其中，每一所述滤材件分别插设在对应的所述导槽中，每一所述滤材件与相邻的另一所述滤材件间间隔有一空隙。

所述的滤材卡匣，其中，所述滤材件分别具有相同气体的过滤效果。

所述的滤材卡匣，其中，所述滤材件分别具有不同气体的过滤效果。

所述的滤材卡匣，其中，所述密封层为一具有弹性的发泡层、一具有弹性的胶体层或一具有弹性的塑料层。