[发明专利]高分辨力立体视觉系统与测量方法有效
申请号: | 201811496736.7 | 申请日: | 2018-12-07 |
公开(公告)号: | CN109470146B | 公开(公告)日: | 2020-06-09 |
发明(设计)人: | 刘俭;李勇;王伟波;赵一轩 | 申请(专利权)人: | 哈尔滨工业大学 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人: | 崔自京 |
地址: | 150000 黑龙*** | 国省代码: | 黑龙江;23 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 分辨力 立体 视觉 系统 测量方法 | ||
1.高分辨力立体视觉系统,包括:至少两个单目测量装置(15);所述单目测量装置(15)对三维被测样品(1)进行视觉测量;
其特征在于,所述单目测量装置,包括激光照明模块、视觉摄像模块、扫描放大测量模块;
所述的激光照明模块按照照明光传播方向依次为:激光器(11)、PBS(10)、二维振镜(9)、扫描透镜(8)、场镜I(7)、管镜(6)、1/4波片(5)、物镜(4)、场镜II(3)和摄影镜头(2);
所述的视觉摄像模块为:摄影镜头(2)、场镜II(3)、物镜(4)、1/4波片(5)、管镜(6)、场镜I(7)、扫描透镜(8)、二维振镜(9)、PBS(10)、聚焦透镜(12)、针孔(13)和PMT探测器(14);
所述的扫描放大测量模块按照信号光传播方向依次为:激光器(11)、PBS(10)、二维振镜(9)、扫描透镜(8)、场镜I(7)、管镜(6)、1/4波片(5)、物镜(4)、场镜II(3)、物镜(4)、1/4波片(5)、管镜(6)、场镜I(7)、扫描透镜(8)、二维振镜(9)、PBS(10)、聚焦透镜(12)、针孔(13)和PMT探测器(14);
所述的激光照明模块、视觉摄像模块、扫描放大测量模块共用场镜II(3)、物镜(4)、1/4波片(5)、管镜(6)、场镜I(7)、扫描透镜(8)、二维振镜(9)、PBS(10);
所述的激光照明模块、视觉摄像模块还共用摄影镜头(2);
所述的激光照明模块、扫描放大测量模块共用激光器(11);
所述的视觉摄像模块、扫描放大测量模块共用聚焦透镜(12)、针孔(13)和PMT探测器(14);
所述的激光照明模块中激光器(11)发出激光,准直后形成平行光,经过PBS反射后再经过二维振镜(9)和扫描透镜(8)后聚焦于场镜I(7)光心位置处,光束经过管镜(6)后形成平行光后经1/4波片(5)后被物镜(4)聚焦于场镜II(3)光心位置,再经摄影镜头(2)聚焦于三维被测样品(1)表面形成聚焦光斑,所述的聚焦光斑照射三维被测样品表面的发出反射光;
所述三维被测样品(1)表面发出的反射光依次经过摄影镜头(2)、场镜II(3)、物镜(4)、1/4波片(5)、管镜(6)、场镜I(7)、扫描透镜(8)、二维振镜(9)、PBS(10)和聚焦透镜(12)、针孔(13)后被PMT探测器(14)收集。
2.根据权利要求1所述的高分辨力立体视觉系统实现高分辨力立体视觉测量的测量方法,其特征在于,所包括以下步骤:
步骤a、根据具体需求选择几个单目测量装置组成高分辨力立体视觉系统;
步骤b、对每一单目测量装置进行单目矫正;
步骤c、对整体立体视觉系统进行矫正;
步骤d、将三维被测样品放置在清晰成像处并对三维被测样品进行成像并计算形貌。
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