[发明专利]一种平板显示溅射靶材平整度的检测方法及其装置

说明书

本发明公开了一种平板显示溅射靶材平整度的检测方法及其装置，涉及溅射靶材加工领域，包括如下步骤：将靶材竖直放置；校准靶材竖直状态并加以固定；至少检测靶材一个侧面的平整度；记录检测数据，松开并取下靶材。针对现有技术存在检测数据不准确的问题，本发明通过将靶材竖直放置，检测靶材两侧表面的平整度，从而有效避免靶材自重对检测精度的影响，确保加工后的靶材便于安装使用。

技术领域

本发明涉及溅射靶材加工领域，更具体地说，它涉及一种平板显示溅射靶材平整度的检测方法及其装置。

背景技术

平板显示溅射靶材（FPD靶材）主要包括靶材和背板，靶材和背板通过钎焊的方式结合起来。

平板显示溅射靶材通常的检测方法是将焊好的靶材平放到大理石平台上，通过塞尺测量靶背与平台之间的缝隙，以此记作靶材的最大弯曲。靶材使用时，G6,G8.5代FPD靶材是竖直放置，通过上下固定的定位孔及其螺栓连接在待安装的设备上。

现有检测方法虽然操作简单、便捷，但平板显示溅射靶材平整放置在大理石台面上后，在自身重力作用下，其表面与大理石表面趋向于贴合，故现有技术的测量值受靶材自重影响大，测量值并非实际值，导致实际安装时，平板显示溅射靶材弯曲数据比水平测量时大，靶材不能够妥善安装。

发明内容

针对现有技术存在检测数据不准确的问题，本发明的目的是提供一种平板显示溅射靶材平整度的检测方法及其装置，其具有检测精确、方法简单的优点。

为实现上述目的，本发明提供了如下技术方案：

一种平板显示溅射靶材平整度的检测方法，包括如下步骤：

步骤S1：将靶材竖直放置；

步骤S2：校准靶材竖直状态并加以固定；

步骤S3：至少检测靶材一个侧面的平整度；

步骤S4：记录检测数据，松开并取下靶材。

通过上述技术方案，将靶材竖直放置固定后，靶材自重不向其两侧作用，确保在自然状态下检测靶材两侧表面，溅射靶材在竖直状态的下弯曲数据比水平放置状态的数据受到靶材自身重力影响小，从而有效提高检测精度。

进一步的，步骤S3包括如下步骤：

步骤S31：靶材至少一侧滑移设置有激光测距仪，调整靶材位置，使靶材两端与激光测距仪滑移轨迹的距离相同；

步骤S32：归零激光测距仪；

步骤S33：滑移激光测距仪，记录多个位置处激光测距仪与靶材之间的距离数据。

通过上述技术方案，使用时，滑动激光测距仪，采集其与靶材之间的距离数值，通过激光测距仪多个位置处的距离数值变化，获取靶材表面的平整度。

进一步的，激光测距仪的高度具有可调节性。

通过上述技术方案，调节激光测距仪的高度，便于从不同高度检测靶材表面平整度，从而增加数据采样点，提高检测精度。

一种平板显示溅射靶材平整度的检测装置，包括检测台，所述检测台上相对设置有两个支撑块，所述支撑块上开设有用于竖直放置靶材的安置槽，所述支撑块一侧滑移设置有用于检测靶材表面平整度的激光测距仪。

通过上述技术方案，使用时，先将靶材竖直放置在安置槽内，由支撑块将靶材支撑固定，再滑动激光测距仪，检测多个位置处其与靶材之间的距离，通过分析采集的数据，评估靶材表面的平整度，有效提高检测精度。

进一步的，所述支撑块两侧均滑移设置有所述激光测距仪。

通过上述技术方案，便于对靶材两侧同时进行检测评估，不仅提高检测的全面性，还能提高检测效率。