[发明专利]一种水溶性离子液体缓蚀剂在审
| 申请号： | 201811499963.5 | 申请日： | 2018-12-07 |
| 公开（公告）号： | CN109267069A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 胡鹏程;周树锋;吴之涛;赖傲楠;郑经纬 | 申请（专利权）人： | 华侨大学 |
| 主分类号： | C23F11/16 | 分类号： | C23F11/16 |
| 代理公司： | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人： | 张松亭;姜谧 |
| 地址： | 362000 福建省*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 缓蚀剂 离子液体 水溶性离子液体 有机磺酸阴离子 氮杂环化合物 生产成本低 反应溶剂 腐蚀介质 合成过程 合成原料 缓蚀效率 保护膜 摩尔比 亲水性 铜表面 阳离子 乙醇 互溶 腐蚀 | ||
【权利要求书】：
1.一种水溶性离子液体缓蚀剂，其特征在于：以乙醇为反应溶剂，由多氮杂环化合物阳离子和亲水性有机磺酸阴离子以1∶0.1～10的摩尔比于0-180℃反应0.5-10h制成；
该多氮杂环化合物阳离子为苯环侧链官能团取代的苯并三氮唑阳离子和苯环侧链官能团取代的苯并咪唑阳离子中的至少一种；该亲水性有机磺酸阴离子为苯环侧链官能团取代的苯磺酸阴离子、苯环侧链官能团取代的1-萘磺酸阴离子和苯环侧链官能团取代的2-萘磺酸阴离子中的至少一种。
2.如权利要求1所述的一种水溶性离子液体缓蚀剂，其特征在于：所述苯环侧链官能团取代的苯并三氮唑阳离子的结构式为所述苯环侧链官能团取代的苯并咪唑阳离子的结构式为其中R1为H、CH3和NH2。
3.如权利要求2所述的一种水溶性离子液体缓蚀剂，其特征在于：所述多氮杂环化合物阳离子为苯并三氮唑和/或甲基苯并三氮唑。
4.如权利要求1所述的一种水溶性离子液体缓蚀剂，其特征在于：所述苯环侧链官能团取代的苯磺酸阴离子的结构式为所述苯环侧链官能团取代的1-萘磺酸阴离子的结构式为所述苯环侧链官能团取代的2-萘磺酸阴离子的结构式为其中R2为H、CH3和NH2。
5.如权利要求4所述的一种水溶性离子液体缓蚀剂，其特征在于：所述亲水性有机磺酸阴离子为苯磺酸、1-萘磺酸和2-萘磺酸中的至少一种。
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