[发明专利]包括分隔图案的图像传感器

权利要求书

1.一种图像传感器，该图像传感器包括：

基板；

形成在所述基板中的感光元件，各个感光元件响应光以生成感光电信号；

抗反射层，该抗反射层形成在所述感光元件上方并被构造为减小光学反射以方便入射光通过所述抗反射层光学透射到所述感光元件；

滤色器，所述滤色器形成在所述抗反射层上方并被布置为在空间上分别与所述感光元件对应，各个滤色器被构造为选择所述入射光中的指定颜色透射通过到对应感光元件；

分隔图案，所述分隔图案形成在所述抗反射层上方并被布置为在空间上分别与所述感光元件对应，以将所述感光元件上方的光接收区域分隔成单独的多个光接收区域，各个分隔图案包围对应滤色器以与相邻滤色器分离；

凹槽，所述凹槽形成在所述分隔图案的上部中，并在相邻分隔图案之间提供气隙；以及

微透镜，所述微透镜形成在所述分隔图案和所述滤色器上方以分别将入射光通过所述滤色器引导到所述感光元件，

其中，所述微透镜通过所述凹槽彼此分离。

2.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述凹槽的下端凹陷以低于所述滤色器的顶表面。

3.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，在俯视图中，所述分隔图案和所述凹槽按照彼此交叠的网格形式布置。

4.根据权利要求1所述的图像传感器，该图像传感器还包括：

防眩光层，所述防眩光层适形地形成在所述微透镜的表面上以减少眩光并延伸以填充所述凹槽。

5.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述分隔图案包括折射率低于所述滤色器的聚合物有机材料或无机材料。

6.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述微透镜具有低于所述滤色器的折射率。

7.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述分隔图案具有低于所述微透镜的折射率。

8.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述分隔图案和所述微透镜包括相同的材料。

9.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述分隔图案的顶表面被定位在比所述滤色器的顶表面高的水平处。

10.根据权利要求1所述的图像传感器，该图像传感器还包括：

设置在所述抗反射层和所述分隔图案之间的栅格图案，

其中，所述栅格图案包括金属。

11.根据权利要求10所述的图像传感器，其中，在俯视图中，所述栅格图案、所述分隔图案和所述凹槽按照彼此交叠的网格形式布置。

12.根据权利要求10所述的图像传感器，其中，所述分隔图案具有大于所述栅格图案的水平宽度以包围所述栅格图案的侧表面。

13.根据权利要求1所述的图像传感器，其中，所述分隔图案包括具有相对小的水平宽度的下部以及具有相对大的水平宽度的上部。

14.根据权利要求13所述的图像传感器，其中，所述分隔图案的所述下部的宽度小于栅格图案的宽度。