[发明专利]一种平板结构密封圈及密封结构

说明书

本发明涉及一种密封技术，特别涉及一种用于平板结构的高真空或超高真空密封圈和密封结构。该密封圈包括密封环，以及从密封环向外延伸的多条金属丝。平板密封结构，包括两个平板，密封圈通过延伸的多条金属丝被固定在一平板上，以将密封环精确定位，无需对平板工件做结构上的改动即可通过外力进行精确定位，从而保证密封圈安装后不会出现错位。

技术领域

本发明涉及一种密封技术，特别涉及一种用于平板结构的高真空(真空度介于10^-1Pa至10^-6Pa)或超高真空(真空度小于10^-6Pa)密封圈和密封结构。

背景技术

在密封设备或高真空或超高真空设备中，经常需要在两个平板结构之间进行密封，例如图1所示的两个平板工件。图1中，工件101为真空腔体，通过真空泵抽取真空，平板工件102为工件101上带有开孔104的平板部分，另一平板工件103为一平面板或者带有电极、气管或水管等结构的平板。需要将二者连接在一起，并保证真空腔体内能达到高真空或超高真空。这种情况不适合用常见的刀口法兰和金属垫圈的密封方式，通常采用的密封方式是将图2所示的一个细金属丝制作的密封圈夹在两个平板工件之间，定位于开孔104和安装孔105之间，通过两个平板工件间的压紧力将金属丝挤压变形从而阻止气体的流动以实现密封。但是图2所示密封圈有一定的局限性，如果图1中平板102的安装平面是水平的，只需将图2所示密封圈平放在安装平面上，然后将平板103安装上即可，密封圈不会出现滑动错位。而很多时候平板工件102的安装平面并不是水平的，很可能是倾斜的或者竖直的，此时如何将图2所示密封圈固定在合适的位置就比较困难，因为无法通过外力固定住密封圈。如果密封圈稍有错位，出现局部没有被压住的情况，那么就会漏气，不可能获得超高真空。

经查专利数据库，专利文献CN1118419A公开了一种密封方式，在两个平板工件上加工台阶型的凹凸结构，然后将密封圈放入凹面结构中，再将凸面结构相配合安装。该方法虽然可以实现倾斜角度的平板工件间的超高真空密封，但是也存在缺点，其一需要在两个平板工件上加工台阶型凹凸结构，增加工序和成本；其二不适合大尺寸的情况，因为密封圈直径较细，并且采用的材料是质地较软的金属，如果尺寸太大，不可能靠自身的支撑力保持形状，一旦密封圈出现变形则无法安装。

发明内容

本发明的目的是提供一种可用于任意角度的平板结构的密封圈。在使用过程中，无需对平板工件做结构上的改动即可通过外力进行精确定位，从而保证密封圈安装后不会出现错位。

本发明的技术方案是：一种密封圈，其特征在于，包括以下结构：密封环；从密封环向外延伸的多条金属丝。

进一步地，该多条金属丝沿密封环周向均匀分布。

进一步地，该多条金属丝与密封环材料、直径相同或不相同。

进一步地，该密封圈用于高真空或超高真空腔体密封。

进一步地，该多条金属丝与密封环焊接连接。

进一步地，密封环和/或金属丝选自金、银、铜、铝或铟材料。

进一步地，密封环和/或金属丝直径为1～2mm。

进一步地，密封环形状为多边形、圆形、或三角形。

本发明还涉及一种平板密封结构，包括第一平板、第二平板，第一平板包括开孔，密封圈的多条金属丝被固定在第一平板上，以将密封环定位于第一平板的安装孔和开孔之间的密封面上，该安装孔与第二平板紧固连接。

进一步地，多条金属丝的长度超出第二平板的边沿。

本发明提供的密封圈具有如下优点：1)可以实现密封圈在任意角度的平板工件上的准确定位，实施过程简单快速，拆卸方便。2)此种密封圈没有尺寸和形状限制。3)采用此种密封圈只需对密封面进行精抛光，无需在结构上做任何改动。4)密封圈安装后不会出现由于错位而引起的泄露，特别适于保证高真空或超高真空的真空度。