[发明专利]多光谱传感器响应平衡

权利要求书

1.一种光滤波器，包括：

衬底；

第一反射镜；

第二反射镜；以及

间隔件，

其中，所述第一反射镜、所述第二反射镜、和所述间隔件形成多个分量滤波器，

其中，所述多个分量滤波器中的第一分量滤波器与第一横截面积相关联，并且所述多个分量滤波器中的第二分量滤波器与第二横截面积相关联，

其中，所述第一横截面积和所述第二横截面积被配置成使所述第一分量滤波器和所述第二分量滤波器响应平衡。

2.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述多个分量滤波器的横截面积至少部分地基于相应的输入通量、滤波器响应度、和传感器响应度来进行配置。

3.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述光滤波器形成至少64个通道。

4.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述第一反射镜、所述第二反射镜、或所述间隔件中的至少一个包括下列项中的至少一项：

锗层，

硅锗层，

氢化硅层，

氢化锗层，或

氢化硅锗层。

5.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述第一反射镜、所述第二反射镜、或所述间隔件中的至少一者包括下列项中的至少一项：

硅层，

二氧化硅(SiO₂)层，

氧化铝(Al₂O₃)层，

二氧化钛(TiO₂)层，

五氧化二铌(Nb₂O₅)层，

五氧化二钽(Ta₂O₅)层，或

氟化镁(MgF₂)层。

6.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述多个分量滤波器中的至少两个分量滤波器与公共波长相关联，以及

其中，所述至少两个分量滤波器的净横截面积被配置成使所述至少两个分量滤波器与所述多个分量滤波器中的另一个分量滤波器响应平衡。

7.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述第一横截面积与所述第二横截面积相差大于1％。

8.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述第一横截面积与所述第二横截面积相差大于5％。

9.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述第一横截面积与所述第二横截面积相差大于10％。

10.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述第一横截面积与所述第二横截面积相差大于20％。

11.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述光滤波器的光谱范围包括近红外光谱范围或中红外光谱范围。

12.根据权利要求1所述的光滤波器，其中，所述第一分量滤波器与第一波长的光相关联，并且所述第二分量滤波器与第二波长的光相关联。

13.一种二元多光谱滤波器，包括：

多个层；

其中，所述多个层包括与第一折射率相关联的一组高折射率层和与小于所述第一折射率的第二折射率相关联的一组低折射率层，

其中，所述多个层形成多个通道以引导多个波长的光，

其中，对应于所述多个通道的多个分量滤波器的多个横截面积被改变以将与所述多个通道相关联的响应配置成特定响应。

14.根据权利要求13所述的二元多光谱滤波器，其中，所述特定响应被平衡到在所述多个通道之间的小于约20％的差异内。