[发明专利]一种透镜轴向低频振动辅助激光加工装置

权利要求书

1.一种透镜轴向低频振动辅助激光加工装置，其特征在于，包括激光发生器和振动发生器，所述激光发生器通过光纤和光纤输出端子与激光工作头的准直镜一端相连，所述激光工作头包括准直镜和聚焦激光机构，所述激光工作头通过准直镜、夹具和螺栓固定安装在机床主轴上，所述准直镜的另一端与聚焦激光机构相连，所述聚焦激光机构与振动发生器相连；

所述聚焦激光机构包括后端盖，聚焦激光机构通过后端盖一端与准直镜螺接，后端盖另一端与压电堆一端相连，压电堆另一端与前端盖动结构部分一端相连，且后端盖和前端盖通过螺栓相连固定压电堆，压电堆通过两个接线柱与振动发生器输出端相连，前端盖动结构部分另一端与透镜外壳一端相连，透镜外壳另一端设置有聚焦透镜，且聚焦透镜通过挡圈和保护镜片固定安装在透镜外壳上；通过前端盖柔性铰链的弹性变形实现前端盖动结构与静结构间的相对运动，完成振动传递过程。

2.一种透镜轴向低频振动辅助激光加工装置的使用方法，采用权利要求1所述的一种透镜轴向低频振动辅助激光加工装置，其特征在于，包括以下步骤：

激光发生器产生激光，激光传递到激光光纤输出端子发射出激光束，激光束通过准直镜后，穿过后端盖、压电堆、前端盖以及透镜外壳，照射到聚焦透镜上；同时振动发生器产生的低频电振荡信号通过电缆以及压电堆接线柱传递到压电堆，压电堆通过逆压电效应将低频电振荡信号转换为低频轴向机械振动并传递到前端盖的动结构部分，该部分将产生的低频轴向振动传递给透镜外壳，进而带动聚焦透镜产生低频轴向振动，激光光束通过轴向振动的聚焦透镜聚焦后照射到工件上，完成工件加工。