[发明专利]一种密封对接装置有效
申请号: | 201811503819.4 | 申请日: | 2018-12-10 |
公开(公告)号: | CN111287607B | 公开(公告)日: | 2021-11-02 |
发明(设计)人: | 陈还;陈淮阳;郑教增;庞飞;郝凤龙 | 申请(专利权)人: | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
主分类号: | E06B3/44 | 分类号: | E06B3/44;E06B7/22;E05F15/665;E05F15/70;H01L21/67;H01L21/677;G03F7/30;G03F7/20 |
代理公司: | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人: | 胡彬 |
地址: | 201203 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 密封 对接 装置 | ||
1.一种密封对接装置,用于存在物料交换的第一设备与第二设备间的密封对接,其特征在于,包括:
机架(100),其固设在所述第一设备上,所述机架(100)上设置有物料交换窗口(101);
驱动传动组件(200),其设置在所述机架(100)一侧;
推板组件(300),其设置在所述机架(100)靠近所述第二设备的一侧,所述推板组件(300)与所述驱动传动组件(200)的第一驱动端连接,所述推板组件(300)能在所述第一驱动端的带动下靠近或远离所述第二设备并在接触所述第二设备时能达到密封状态;
密封门(400),其可移动地设置在所述机架(100)上,所述密封门(400)与所述驱动传动组件(200)的第二驱动端连接,并能在所述第二驱动端的带动下运动,以遮挡或避开所述物料交换窗口(101);
电控组件,包括控制器和与其电连接的检测组件,所述检测组件用于检测所述推板组件(300)和所述密封门(400)的位置,所述控制器控制所述驱动传动组件(200)使所述推板组件(300)靠近所述第二设备的动作与所述密封门(400)避开所述物料交换窗口(101)的动作同步进行和/或使所述推板组件(300)远离所述第二设备的动作与所述密封门(400)遮挡所述物料交换窗口(101)的动作同步进行;
所述驱动传动组件(200)包括安装座(201),所述安装座(201)上设置有驱动组件(202),所述驱动组件(202)驱动连接有蜗杆(204),所述蜗杆(204)上驱动连接有第一传动组件和第二传动组件,所述第一传动组件的输出端为所述第一驱动端,所述第二传动组件的输出端为所述第二驱动端。
2.根据权利要求1所述的密封对接装置,其特征在于,所述第一传动组件包括与所述蜗杆(204)啮合的蜗轮(205),所述蜗轮(205)的两端通过轴承座(212)设置于所述安装座(201),所述蜗轮(205)轴心设置螺纹孔,所述螺纹孔内连接推板丝杠(206),所述推板丝杠(206)贯穿所述机架(100)与所述推板组件(300)连接。
3.根据权利要求1所述的密封对接装置,其特征在于,所述第二传动组件包括设置在所述蜗杆(204)上并与所述蜗杆(204)同步转动的主动锥齿轮(207),及与所述主动锥齿轮(207)啮合的从动锥齿轮(208),所述从动锥齿轮(208)连接有密封门丝杠(209),所述密封门丝杠(209)上设置有密封门丝杠螺母(210),所述密封门丝杠螺母(210)与所述密封门(400)连接。
4.根据权利要求2所述的密封对接装置,其特征在于,所述推板组件(300)包括推板(301)、柔性密封罩(302)和密封条(303),所述柔性密封罩(302)一端固定在所述机架(100)上,另一端与所述推板(301)连接,所述推板(301)的内表面与所述推板丝杠(206)连接,所述柔性密封罩(302)能在所述推板(301)的带动下,相对于所述机架(100)伸张和收缩;所述推板(301)的外表面上设置有所述密封条(303),所述推板(301)通过压缩所述密封条(303)实现与所述第二设备的密封接触。
5.根据权利要求4所述的密封对接装置,其特征在于,所述机架(100)上设置有至少两组水平导向组件,每组所述水平导向组件均包括导杆(102)和直线轴承(103),所述直线轴承(103)贯穿所述机架(100),所述导杆(102)与所述推板(301)连接,用于为所述推板(301)的水平运动提供导向。
6.根据权利要求3所述的密封对接装置,其特征在于,所述机架(100)上设置有中空腔,所述中空腔中密封设置有密封板(104),所述物料交换窗口(101)设置于所述密封板(104)上,所述密封门(400)贴设于所述密封板(104)的表面上下移动。
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