[发明专利]柔性显示面板及其制作方法有效
申请号: | 201811506853.7 | 申请日: | 2018-12-10 |
公开(公告)号: | CN109638156B | 公开(公告)日: | 2020-09-01 |
发明(设计)人: | 郭天福 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/00 | 分类号: | H01L51/00;H01L51/50;H01L51/56;G09F9/30 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 | 代理人: | 林才桂;程晓 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 及其 制作方法 | ||
本发明提供一种柔性显示面板及其制作方法。本发明的柔性显示面板包括柔性基板、一层或多层设于柔性基板中的激光吸收层及设于柔性基板上的显示功能层,所述激光吸收层包含用作紫外光吸收剂的含氟芳香有机化合物,该含氟芳香有机化合物的紫外光吸收剂具有极强的紫外光吸收能力,且化学性质稳定,可以稳定存在于柔性基板中,从而能够将LLO工艺中多余的激光能量吸收,防止LLO制程中多余的激光能量进一步碳化柔性基板上的显示功能层,进而有效提升柔性显示面板的LLO工艺良率,大幅度改善产品良率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性显示面板及其制作方法。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light Emitting Diode,OLED)显示器具有自发光、驱动电压低、发光效率高、响应时间短、清晰度与对比度高、近180°视角、使用温度范围宽、可实现柔性显示与大面积全色显示等诸多优点,被业界公认为是最有发展潜力的显示装置。
OLED显示技术与传统的液晶显示技术不同,无需背光灯,采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板,当有电流通过时,这些有机材料就会发光。但是由于有机材料易与水汽或氧气反应,作为基于有机材料的显示设备,OLED显示屏对封装的要求非常高,因此,通过OLED器件的封装提高OLED器件内部的密封性,尽可能的与外部环境隔离,对于OLED器件的稳定发光至关重要。
对于OLED器件来说,最具竞争力的优势是能做成柔性器件,这将给器件相关的电子行业带来巨大的改革变化。为了得到柔性OLED器件,首先需要利用柔性基底取代传统的刚性玻璃基底,但从实际操作性考虑,目前行业内首先选择将柔性基底做在刚性玻璃基板表面,待完成所有工艺制程后,再通过激光剥离(Laser Lift Off,LLO)制程将柔性基底从玻璃基板表面剥离,从而实现制备柔性OLED器件的目的。通过上述描述可以发现,LLO工艺是柔性OLED器件生产中的关键工艺,如何有效地提升该工艺的良率极为关键。
柔性OLED显示器是采用柔性基板(Flexible Substrate)制成的可弯曲显示设备,通常采用柔性聚酰亚胺(Polyimide,PI)基板。OLED显示面板在玻璃基板上完成所有工艺后,开始进入LLO工段,其具体原理是通过激光照射底部玻璃基板,让与玻璃基板贴合的柔性PI基板碳化,弱化玻璃与柔性PI基板之间的作用力,从而到达将柔性OLED显示面板从玻璃基板上剥离下来的目的。
LLO工艺过程中常用的激光波长为308nm,属于紫外光。但是在实际的剥离工艺中,LLO制程过后容易出现较大的良率损失,主要原因大致如下:1、玻璃基板与柔性PI基板之间存在异物,或者玻璃基板自身存在缺陷,导致激光照射后局部柔性PI基板与玻璃基板之间仍然存在较强的作用力,不能正常剥离。2、柔性PI基板自身存在缺陷,紫外激光很容易透过柔性PI基板,导致部分区域激光能量穿透至上层膜层,对OLED结构及薄膜晶体管(ThinFilmTransistor,TFT)结构造成损伤,因以上存在的不可避免的因素总会给LLO工艺带来极大挑战,严重影响该工艺的良率。
为了解决以上问题,现有一种方案通过将具有紫外吸收能力的材料掺杂于柔性基板中,用来防范多余紫外光对上层结构可能造成的灼伤。然而一般的紫外光吸收剂本身不稳定,在紫外光作用下容易分解而产生一系列副产物,直接引入该类化合物到PI中,极可能会引发很多意想不到的后果,因此,在柔性基板中引入稳定的紫外光吸收剂对提升LLO工艺良率极为重要。
发明内容
本发明的目的在于提供一种柔性显示面板,能够防止LLO制程中多余的激光能量进一步碳化上层的显示功能层,从而有效提升柔性显示面板的LLO工艺良率。
本发明的目的在于提供一种柔性显示面板的制作方法,能够防止LLO制程中多余的激光能量进一步碳化上层的显示功能层,从而有效提升柔性显示面板的LLO工艺良率。
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