[发明专利]测量装置、平板印刷装置、物品的制造方法以及测量方法

权利要求书

1.一种测量装置，测量基板的边缘位置，所述测量装置的特征在于，包括：

检测部，检测以第1光量将光照射到所述基板的端部而由所述端部反射的光的第1强度分布、以及以与所述第1光量不同的第2光量将光照射到所述端部而由所述端部反射的光的第2强度分布；以及

处理部，将由所述检测部检测的光强度分布上的位置相互对应的所述第1强度分布的检测信号和所述第2强度分布的检测信号当作1组，根据由所述检测部检测到的光强度分布上的位置互不相同的多个组中的、所述第1强度分布的波峰的强度和所述第2强度分布的波峰的强度处于容许范围内的组的强度分布来决定所述基板的边缘位置，

所述处理部在基板端部的倒圆量为标准下限值的情况下以使来自该基板端部的反射光的强度成为目标强度的方式设定所述第1光量，在基板端部的倒圆量为标准上限值的情况下以使来自该基板端部的反射光的强度成为所述目标强度的方式设定所述第2光量。

2.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述处理部根据表示基板端部的倒圆量与来自该基板端部的反射光的强度成为所述目标强度的光量之间的关系的信息，设定所述第1光量以及所述第2光量。

3.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述处理部将在针对基板端部的倒圆量的标准下限值应用了所述第2光量的情况下能够得到的所述第2强度分布的波峰的强度作为下限值，将在针对基板端部的倒圆量的标准上限值应用了所述第1光量的情况下能够得到的所述第1强度分布的波峰的强度作为上限值，设定所述容许范围。

4.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述测量装置还包括载置台，该载置台能够在保持所述基板的状态下移动，

所述检测部设置于所述载置台。

5.根据权利要求4所述的测量装置，其特征在于，

所述处理部在选择出两个以上的组的情况下，根据选择出的所述两个以上的组中的由于所述载置台的移动所致的光强度分布的波峰的强度变化最小的组的波峰位置来决定所述基板的边缘位置。

6.根据权利要求1所述的测量装置，其特征在于，

所述检测部包括：照射部，将光从所述基板的侧方照射到所述基板的端部；以及受光部，在该端部的下方接收由该端部反射的光。

7.一种平板印刷装置，使图案形成于基板，所述平板印刷装置的特征在于，

所述平板印刷装置包括测量所述基板的边缘位置的权利要求1至6中的任意一项所述的测量装置。

8.一种物品的制造方法，其特征在于，包括：

使用权利要求7所述的平板印刷装置来在基板上形成图案的工序；以及

对在所述工序中被形成图案的所述基板进行加工的工序，

由加工后的所述基板来制造物品。

9.一种测量方法，对基板的边缘位置进行测量，所述测量方法的特征在于，包括：

检测工序，检测以第1光量将光照射到所述基板的端部而由所述端部反射的光的第1强度分布、和以与所述第1光量不同的第2光量将光照射到所述端部而由所述端部反射的光的第2强度分布；以及

决定工序，将在所述检测工序中检测的光强度分布上的位置相互对应的所述第1强度分布的检测信号和所述第2强度分布的检测信号当作1组，根据检测到的光强度分布上的位置互不相同的多个组中的、所述第1强度分布的波峰的强度和所述第2强度分布的波峰的强度处于容许范围内的组的强度分布来决定所述基板的边缘位置，

在所述决定工序中，在基板端部的倒圆量为标准下限值的情况下以使来自该基板端部的反射光的强度成为目标强度的方式设定所述第1光量，在基板端部的倒圆量为标准上限值的情况下以使来自该基板端部的反射光的强度成为所述目标强度的方式设定所述第2光量。