[发明专利]一种柔性压力传感器与柔性压力传感阵列

权利要求书

1.一种柔性压力传感器，其特征在于，包括依次层叠设置的：

衬底层，由柔性高分子聚合物制成；所述柔性高分子聚合物包括：热塑性聚氨酯类弹性体、聚二甲基硅氧烷类弹性体、及聚烯烃类弹性体中的一种或多种；

电极层，设于所述衬底层的表面，其基质采用所述柔性高分子聚合物，且所述柔性高分子聚合物中填有微纳米导电材料；

传感层，电性连接所述电极层，其基质采用所述柔性高分子聚合物，且所述柔性高分子聚合物中填有微纳米导电材料；

所述衬底层、所述电极层、及所述传感层之间的弹性模量为预设值，其中所述电极层的弹性模量的预设值为三层中最大。

2.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述电极层的制备方式包括：在所述柔性高分子聚合物中填入质量比超过一定百分数的微纳米导电材料，并在混合均匀后印刷或打印于所述衬底层的表面。

3.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述电极层采用双螺旋插指电极结构；所述电极层所包含的各电极层分别采用双螺旋插指电极结构。

4.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述传感层的制备方式包括：利用微纳米导电材料和牺牲性模板法制得多孔导电浆料，并将其印刷或打印于所述电极层的表面。

5.根据权利要求4所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述多孔导电浆料包含：一定质量百分数的纳米炭黑颗粒、一定质量百分数的牺牲性盐模板、及一定质量百分数的所述柔性高分子聚合物。

6.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，所述传感层采用一层或多层筛网结构。

7.根据权利要求1所述的柔性压力传感器，其特征在于，包括：

所述柔性压力传感器用于监测人体体征的柔性可穿戴设备；

所述柔性压力传感器用于机器人触觉感知设备。

8.一种柔性压力传感阵列，其特征在于，包括：

衬底层，由柔性高分子聚合物制成；

电极阵列层，设于所述衬底层的表面，其基质采用所述柔性高分子聚合物，且所述柔性高分子聚合物中填有微纳米导电材料，位于同行或同列的电极阵列的同侧端电性连接；

传感阵列层，对应地设于所述电极阵列层的表面，并与所述电极阵列层电性连接，所述传感阵列层的基质采用所述柔性高分子聚合物，且所述柔性高分子聚合物中填有微纳米导电材料；所述柔性高分子聚合物包括：热塑性聚氨酯类弹性体、聚二甲基硅氧烷类弹性体、及聚烯烃类弹性体中的一种或多种；

所述衬底层、所述电极阵列层、及所述传感阵列层之间的弹性模量为预设值，其中所述电极阵列层的弹性模量的预设值为三层中最大。

9.根据权利要求8所述的柔性压力传感阵列，其特征在于，所述电极阵列层所包含的各电极层的制备方式包括：在所述柔性高分子聚合物中填入质量比超过一定百分数的微纳米导电材料，并在混合均匀后印刷或打印于所述衬底层的表面。

10.根据权利要求8所述的柔性压力传感阵列，其特征在于，所述电极阵列层所包含的各电极层分别采用双螺旋插指电极结构。

11.根据权利要求8所述的柔性压力传感阵列，其特征在于，所述传感阵列层的制备方式包括：利用微纳米导电材料和牺牲性模板法制得多孔导电浆料，并将其对应地印刷或打印于所述电极阵列层的表面。

12.根据权利要求11所述的柔性压力传感阵列，其特征在于，所述多孔导电浆料包含：一定质量百分数的纳米炭黑颗粒、一定质量百分数的牺牲性盐模板、及一定质量百分数的所述柔性高分子聚合物。

13.根据权利要求8所述的柔性压力传感阵列，其特征在于，所述传感阵列层所包含的各传感层采用一层或多层筛网结构。

14.根据权利要求8所述的柔性压力传感阵列，其特征在于，包括：

所述柔性压力传感阵列用于监测人体体征的柔性可穿戴设备；

所述柔性压力传感阵列用于机器人触觉感知设备。