[发明专利]一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统有效

专利信息
申请号: 201811513354.0 申请日: 2018-12-11
公开(公告)号: CN109406134B 公开(公告)日: 2023-09-26
发明(设计)人: 张智明;孙围华;靳毅;刘绘生;余健;宋敏;陈泽芸;王丛岭;蒋丹 申请(专利权)人: 九川真空科技成都有限公司;电子科技大学
主分类号: G01M13/003 分类号: G01M13/003;G01N15/10
代理公司: 成都嘉企源知识产权代理有限公司 51246 代理人: 胡林
地址: 610210 四川省成都市中国(四川)自由贸易*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 检测 阀门 工作 过程 粒子 脱落 数量 系统
【权利要求书】:

1.一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:包括真空装置、待测阀门、待测阀门驱动装置、气体通入装置和粒子计数器,所述真空装置包括腔体和抽真空装置,腔体至少连接有三根管路,一根为气体通入管路,一根为出口管路,最后一根为抽真空管路,抽真空管路连接抽真空装置,气体通入管路连接气体通入装置,出口管路连接粒子计数器,气体通入装置通过支管路与粒子计数器相连,待测阀门驱动装置与待测阀门相连,待测阀门驱动装置驱动待测阀门开启和关闭,待测阀门放置在腔体内,所述气体通入管路、出口管路、抽真空管路和支管路上均安装有阀门。

2.根据权利要求1所述的一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:所述出口管路上还安装有高压扩散器。

3.根据权利要求1所述的一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:所述气体通入装置包括空压机、干燥器、过滤器、减压阀和气体流量计,空压机与干燥器相连,干燥器与过滤器相连,过滤器与减压阀相连,减压阀与气体流量计相连,气体流量计与腔体相连。

4.根据权利要求1所述的一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:所述腔体包括底板、固定夹板法兰、活动夹板法兰、定位块和活动夹紧装置,固定夹板法兰和活动夹板法兰安装在底板上,固定夹板法兰和活动夹板法兰紧靠在待测阀门的正反两面,定位块和活动夹紧装置安装在底板上,定位块和活动夹紧装置紧靠在待测阀门的两侧面,固定夹板法兰和活动夹板法兰上均设置有内凹槽和通气孔,通气孔与内凹槽相连通,待测阀门的通槽与固定夹板法兰和活动夹板法兰上的内凹槽形成空腔。

5.根据权利要求4所述的一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:所述固定夹板法兰与待测阀门的相接处,所述活动夹板法兰与待测阀门的相接处均采用密封圈密封。

6.根据权利要求4所述的一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:所述底板铣出L形凸台,所述固定夹板法兰紧靠在L形凸台上,为待测阀门提供正反面的安装基准,所述定位块紧靠在L形凸台上,为待测阀门提供侧面安装基准。

7.根据权利要求4所述的一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:所述固定夹板法兰与待测阀门,活动夹板法兰与待测阀门的侧面通过卡钳螺栓固紧。

8.根据权利要求4所述的一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:所述活动夹紧装置包括L形板、移动板和移动螺栓,L形板通过定位销和螺栓固定在底板上,移动板连接在移动螺栓上,移动螺栓穿过L形板,与L形板螺接。

9.根据权利要求1所述的一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:所述腔体包括基板、阀头定位板、阀尾定位板、进气法兰管、出气法兰管和待测阀门,进气法兰管和出气法兰管分别安装在待测阀门两端,待测阀门与进气法兰管之间密封连接,待测阀门与出气法兰管之间密封连接,阀头定位板和阀尾定位板安装在基板上,待测阀门卡在阀头定位板和阀尾定位板内。

10.根据权利要求9所述的一种检测阀门工作过程中粒子脱落数量的系统,其特征在于:所述进气法兰管和出气法兰管为变径法兰管,所述进气法兰管的大端连接在待测阀门上,所述出气法兰管的大端连接在待测阀门上。

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