[发明专利]一种磁控管阴极线圈用钴钍钨合金材料及其制备方法有效
申请号: | 201811514202.2 | 申请日: | 2018-12-11 |
公开(公告)号: | CN109666833B | 公开(公告)日: | 2020-05-19 |
发明(设计)人: | 方毅金;蒋小军;肖华军;刘良木 | 申请(专利权)人: | 厦门虹鹭钨钼工业有限公司 |
主分类号: | C22C27/04 | 分类号: | C22C27/04;C22C1/04;B22F9/22;B22F3/02;B22F3/10;B22F3/17 |
代理公司: | 厦门市首创君合专利事务所有限公司 35204 | 代理人: | 张松亭;姜谧 |
地址: | 361000 福建省*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 磁控管 阴极 线圈 用钴钍钨 合金材料 及其 制备 方法 | ||
1.一种磁控管阴极线圈用钴钍钨合金材料,其特征在于:由如下重量百分比的组分组成:Co 0.005~0.04%,Th 0.5~4.0%,余量为W和不可避免的杂质,其制备方法包括在蓝钨掺杂硝酸钍的同时再加入钴盐,通过钴元素细化晶粒功能来改善碳化后磁控管阴极线圈的抗震性能;
其制备方法包括如下步骤:
(1)掺杂:按所述重量百分比称取蓝钨、硝酸钍和钴盐,在掺杂锅内加入蓝钨和硝酸钍掺杂的同时,加入钴盐,通过固液混合搅拌,然后在150-200℃温度下烘干6-8h;
(2)还原:将步骤(1)所得的物料置于还原炉中,采用620-980℃且每段90-120min的四段控温工艺进行还原,获得钴钍钨合金粉末,还原气氛为氢气气氛,氢气的流量为10-35m3/h,氢气的纯度为93-97%;
(3)粉末压制:将上述钴钍钨合金粉末置于混料机内,进行0.5-1.5h且14-16rpm的翻滚,获得粒度为2-5μm、松散、干燥且均匀的粉末,再将该粉末均匀装入软膜中,采用130-160Mpa进行液等静压80-100s,获得第一钴钍钨合金条;
(4)烧结:将上述第一钴钍钨合金条送入预烧结炉中,用1100-1400℃烧结20-40min,再放入垂熔机中夹住两端于2400-2700℃进行垂熔烧结40-60min,得到密度为17.0-19.0g/cm3、直径为12-30mm的第二钴钍钨合金条;
(5)压力加工:用旋锤机将上述第二钴钍钨合金条经过多道次旋锻加工至3.3-3.7mm,再送入拉丝机内进行串联拉丝,得到直径为0.52-0.55mm的钴钍钨合金黑丝;
(6)清洗:将上述钴钍钨合金黑丝电解抛光成0.46-0.52mm的钴钍钨合金白丝,即得所述磁控管阴极线圈用钴钍钨合金材料。
2.如权利要求1所述的一种磁控管阴极线圈用钴钍钨合金材料,其特征在于:所述四段控温工艺中的温度依次为650℃、750℃、850℃和950℃,时间依次为90min、90 min、100 min和120 min。
3.如权利要求1所述的一种磁控管阴极线圈用钴钍钨合金材料,其特征在于:所述步骤(5)中,用旋锤机将所述第二钴钍钨合金条经过多道次旋锻加工至3.5mm。
4.如权利要求1所述的一种磁控管阴极线圈用钴钍钨合金材料,其特征在于:所述步骤(5)中,送入拉丝机内,依次通过道次3.0-3.3 mm、2.5-2.7 mm、2.0-2.3mm、1.4-1.6 mm、1.1-1.3 mm、1.0-1.1mm、0.85-1.0 mm、0.75-0.85mm、0.65-0.75mm、0.6-0.65 mm、0.55-0.6mm和0.50-0.55mm,得到所述钴钍钨合金黑丝。
5.如权利要求4所述的一种磁控管阴极线圈用钴钍钨合金材料,其特征在于:所述步骤(5)中,送入拉丝机内,依次通过道次3.2mm、2.6 mm、2.1 mm、1.5 mm、1.2mm、1.0mm、0.9mm、0.75mm、0.7mm、0.6mm、0.56 mm和0.53mm,得到所述钴钍钨合金黑丝。
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