[发明专利]一种Ag-Au-Al-Cr-Cu纳米复合膜表面增强荧光基底及其制备方法

权利要求书

1.一种Ag-Au-AI-Cr-Cu纳米复合膜表面增强荧光基底，其特征在于，通过在载玻片上直流溅射复合靶材Ag-Au-AI-Cr-Cu制备得到荧光基底;

所述的Ag-Au-AI-Cr-Cu纳米复合膜表面增强荧光基底，其制备方法包括以下步骤:

(1)将滤波片先在900-1100目沙子，上打磨粗糙化，然后清洗、吹干备用;

将Ag-Au-AI-Cr-Cu复合靶材安装在直流阴极上,再将粗糙化的滤波片装入样品台，调整靶材和基片的距离为58-62mm;

开机，抽真空至(0.9-1.1)x10^-3pa,然后通人氩气，调整Ar流量为18-22sccm，调整工作气压至1.9-2.1Pa;

打开溅射电源，调整溅射功率为47-53W，溅射开始，调整衬底的转速为18-22rpm，控制总的溅射时间为2-4min;

(5)溅射完成，关闭溅射电源，停止通气，关分子泵，关电源，自然真空下冷却到室温，然后取出得到产品:

所述Ag-Au-AI-Cr-Cu复合靶材中各成分含量为38-42at%Ag、37-43at%Au、4-6at%Al、4-6at%Cr、8-I2at%Cu。

2.根据权利要求1所述的Ag-Au-Al-Cr-Cu纳米复合膜表面增强荧光基底，其特征在于，所述制备方法包括以下步骤:

(1)将滤波片先在1000目沙子上打磨粗糙化，然后清洗、吹干备用;

将Ag-Au-AI-Cr-Cu复合靶材安装在直流阴极上，再将粗糙化的滤波片装入样品台，调整靶材和基片的距离为60mm;

开机，抽真空至1x10-3pa,然后通人氩气，调整Ar流量为20sccm，调整工作气压至2.0Pa;

打开溅射电源，调整溅射功率为50W，溅射开始，调整衬底的转速为20rpm，控制总的溅射时间为3min;

(5)溅射完成，关闭溅射电源，停止通气，关分子泵，关电源，自然真空下冷却到室温，然后取出得到产品。

3.根据权利要求1或2任一项所述的Ag-Au-Al-Cr-Cu纳米复合膜表面增强荧光基底，其特征在于，所述Ag-Au-AI-Cr-Cu复合靶材中各成分含量为40at%Ag、40at%Au、5at%Al、5at%Cr、10at%Cu。