[发明专利]一种用于溅镀载具的清洁装置

权利要求书

1.一种用于溅镀载具的清洁装置，用以去除溅镀载具传动载具底部的传动导轨与传动滚轮摩擦产生的金属灰尘，其特征在于，包括：

装设在所述传动导轨周围的支架；

装设在所述支架上的用以去除附着在传动导轨上金属灰尘的刷体,所述刷体为一可自转的结构构造的毛刷；

装设在所述支架上的用以去除附着在传动导轨和/或传动滚轮表面的金属灰尘，形成防止灰尘扩散的定向气流的正压去除组件；以及

用以产生定向气流流向，对金属灰尘进行收集的真空去除收集组件；所述支架上开设有凹槽，所述传动导轨穿过所述凹槽,所述刷体设置在所述凹槽的底部，与所述传动导轨触碰,所述凹槽的截面呈U形；

所述正压去除组件至少包括一喷嘴，所述喷嘴朝向所述刷体对所述传动导轨进行刷持的位置喷射气流,使喷射气流能够配合真空去除收集组件对灰尘进行集中收集，防止刷体周围的灰尘扩散；所述正压去除组件固定在所述凹槽的开口侧。

2.如权利要求1所述的用于溅镀载具的清洁装置，其特征在于，所述正压去除组件还具有与所述喷嘴相连的管体和与所述管体相连的正压接入口。

3.如权利要求1所述的用于溅镀载具的清洁装置，其特征在于，所述真空去除收集组件装设在所述刷体的底部，所述真空去除收集组件通过产生负压形成定向气流。