[发明专利]一种基于复合光栅的激光拉曼光谱仪在审

专利信息
申请号: 201811514972.7 申请日: 2018-12-12
公开(公告)号: CN109580581A 公开(公告)日: 2019-04-05
发明(设计)人: 任秀云;田兆硕;张延超;王玲;付石友 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学(威海)
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65
代理公司: 北京博讯知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11593 代理人: 柳兴坤
地址: 264209*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 复合光栅 色散系统 激光发生部 面阵CCD 激光拉曼光谱仪 数据处理系统 待测产品 激光拉曼光谱 室内 并行处理 第二腔室 第一腔室 高分辨率 光电转换 激光照射 壳体内部 空分复用 快速测量 衍射光谱 中心波长 数据处理 多通道 角度差 入射角 散射光 衍射角 错开 壳体 射入 光谱 拼接 和面 照射 发射 保证
【说明书】:

发明公开了一种基于复合光栅的激光拉曼光谱仪,包括壳体、激光发生部、复合光栅色散系统、面阵CCD和数据处理系统,壳体内部包括第一腔室和第二腔室,激光发生部设置在第一腔室内,复合光栅色散系统和面阵CCD设置在第二腔室内,激光发生部发射的激光照射到待测产品上,待测产品上的散射光射入到复合光栅色散系统,然后再照射到面阵CCD上,数据处理系统用于对数据进行处理。本发明通过复合光栅色散系统使得能够利用入射角和衍射角具有固定角度差来保证两衍射光谱中心波长相互错开并固定不变。并利用面阵CCD的空分复用和多通道并行处理特性进行光电转换,数据处理后拼接生成一维拉曼光谱,实现了大工作谱宽高分辨率的激光拉曼光谱的快速测量。

技术领域

本发明涉及激光拉曼光谱测量仪器相关技术领域,特别是一种基于复合光栅的激光拉曼光谱仪。

背景技术

拉曼散射是介质分子对入射光子非弹性散射的一种,拉曼光谱可以表征介质分子振动或转动能级信息,能够作为“分子指纹”用于物质鉴定的有效手段,广泛应用于材料、化工、石油、高分子、生物、环保、地质等领域。激光拉曼光谱仪用于物质的拉曼光谱的高精度测量,是拉曼光谱分析技术的基础。典型的激光拉曼光谱仪构造包括激光器,入射狭缝,准直透镜,色散系统,聚焦系统,出射狭缝,光电探测器及信号处理系统组成。由于一般拉曼信号很弱,需要精密复杂的光学装置进行测量。目前已有的激光拉曼光谱仪大多采用光栅或棱镜进行分光,光电倍增管或单光子计数器作为光电探测器,通过长时间的波长扫描测得完整拉曼光谱图。这一类激光拉曼光谱仪波长分辨率较高,但绘制一张拉曼光谱图需要较长时间,不能满足实时快速处理的需求。还有一类激光拉曼光谱仪是以光栅或棱镜将所有波长同时色散展开,以一个线阵光探测器同时接收所有波长的光功率,绘出光谱图。这类拉曼光谱仪的光谱分析速度快,可以满足实时快速光谱分析的需求,但一般其工作谱宽较窄,波长分辨率较低。因为其波长分辨率受制于入射狭缝宽度,且与拉曼光谱仪工作谱宽成反比。为了提高波长分辨率,一般会采用尽可能窄的入射狭缝,但是这样会降低系统的光通量,影响拉曼光谱仪的灵敏度。在入射狭缝宽度一定的情况下,要想提高拉曼光谱仪的波长分辨率,就必须牺牲其工作谱宽。

发明内容

有鉴于此,本发明的目的之一是提供一种结构简单、操作便利,且能够实现微弱拉曼光谱信号的快速检测的基于复合光栅的激光拉曼光谱仪。

本发明提供一种基于复合光栅的激光拉曼光谱仪,包括壳体、激光发生部、复合光栅色散系统、面阵CCD和数据处理系统,所述壳体内部包括第一腔室和第二腔室,所述激光发生部设置在所述第一腔室内,所述复合光栅色散系统和面阵CCD设置在所述第二腔室内,所述数据处理系统与所述激光发生部和所述面阵CCD相连,

所述激光发生部发射的激光照射到待测产品上,所述待测产品上的散射光射入到所述复合光栅色散系统,然后再照射到所述面阵CCD上,所述数据处理系统用于对数据进行处理、显示和/或储存。

优选地,所述复合光栅色散系统包括狭缝、准直柱面镜、复合光栅、会聚柱面镜和平面反射镜,

所述待测产品上散射的光信号通过所述狭缝,然后由所述准直柱面镜准直为平行光束后射入所述复合光栅色散系统,然后经所述会聚柱面镜聚焦之后照射到所述平面反射镜上,经所述平面镜反射后照射在所述面阵CCD上。

优选地,所述复合光栅包括上光栅和下光栅,所述上光栅和下光栅之间具有夹角α,所述夹角α为8-12°,优选为10°。

优选地,所述上光栅与所述下光栅的尺寸和分辨率相同。

优选地,所述壳体上设置有长波通滤光片,所述待测产品上散射光经所述长波通滤光片后射入所述复合光栅色散系统,所述长波通滤光片为458nm长波通滤波片。

优选地,所述壳体内设置有隔板,所述隔板将所述壳体内部空间分隔成为第一腔室和第二腔室,所述第一腔室和第二腔室构造为长形腔室。

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