[发明专利]SRAM的6T存储单元结构有效
申请号: | 201811515717.4 | 申请日: | 2018-12-12 |
公开(公告)号: | CN109494223B | 公开(公告)日: | 2021-04-13 |
发明(设计)人: | 周晓君 | 申请(专利权)人: | 上海华力集成电路制造有限公司 |
主分类号: | H01L27/11 | 分类号: | H01L27/11;H01L27/02 |
代理公司: | 上海浦一知识产权代理有限公司 31211 | 代理人: | 郭四华 |
地址: | 201315 上海市浦东新区中国(上*** | 国省代码: | 上海;31 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | sram 存储 单元 结构 | ||
本发明公开了一种SRAM的6T存储单元结构,由第一和第二选择管、第一和二PMOS管、第一和第二NMOS管连接成6T存储单元结构,两个选择管分别形成在第一和二有源区中;两个PMOS管形成在第三有源区中;两个NMOS管形成在第四有源区中;第一和第二有源区都具有第一宽度,第三有源区具有第二宽度,第四有源区具有第三宽度,第三宽度大于第一宽度大于第二宽度,用以优化电路读窗口和写窗口,沟道区宽度相同的晶体管设置在相同的有源区中,各有源区都分别采用相同的宽度的设置,能防止有源区宽度渐变。本发明能消除有源区的宽度变化对晶体管的沟道长度和宽度的影响,从而能提高器件之间的匹配度并从而提高良率,能增大工艺窗口。
技术领域
本发明涉及半导体集成电路,特别是涉及一种SRAM的6T存储单元结构。
背景技术
如图1所示,是现有SRAM的6T存储单元结构的版图;图2是图1所示的现有SRAM的6T存储单元结构的电路图,现有SRAM的6T存储单元结构由第一选择管101、第二选择管102、第一PMOS管103、第二PMOS管104、第一NMOS管105和第二NMOS管106这6个晶体管连接而成,所述第一PMOS管103和所述第二PMOS管104作为两个上拉管(Pull Up,PU),所述第一NMOS管105和所述第二NMOS管106作为两个下拉管(Pull Down,PD)。图1中,所述第一选择管101也用PG1表示,所述第二选择管102也用PG2表示,所述第一PMOS管103也用PU1表示,所述第二PMOS管104也用PU2表示,所述第一NMOS管105也用PD1表示,所述第二NMOS管106也用PD2表示。
图1中,所述第一选择管101和所述第一NMOS管105同时形成在有源区201d中,所述第二选择管102和所述第二NMOS管106同时形成在有源区201a中,所述第一PMOS管103形成在有源区201c中。所述第二PMOS管104形成在有源区201d中。
现有结构中,所述第一选择管101为NMOS管,所第二选择管102为NMOS管。
所述6T存储单元结构的6个晶体管的连接方式为:
所述第一选择管101的栅极和所述第二选择管102的栅极都连接到同一跟字线;所述第一选择管101的源区连接第一位线BL,所述第二选择管102的源区连接第二位线BLB,所述第二位线BLB和所述第一位线BL组成一对互为反相的位线结构;
所述第一PMOS管103的源区和所述第二PMOS管104的源区都连接到电源电压Vdd。
所述第一PMOS管103的漏区、所述第一NMOS管105的漏区、所述第一选择管101的漏区、所述第二PMOS管104的栅极、所述第二NMOS管106的栅极都连接到第一节点。
所述第二PMOS管104的漏区、所述第二NMOS管106的漏区、所述第二选择管102的漏区、所述第一PMOS管103的栅极、所述第一NMOS管105的栅极都连接到第二节点。第一节点和第二节点储存的信息为互为反相且互锁。
所述第一NMOS管105的源区和所述第二NMOS管106的源区都接地Vss。
6个晶体管的栅极结构都采用多晶硅栅202。
另外,图1中,所述第一NMOS管105和所述第一PMOS管103的多晶硅栅202连接成一体结构;所述第二NMOS管106和所述第二PMOS管104的多晶硅栅202连接成一体结构。
第一层金属204通过对应的接触孔203和底部的对应的结构如多晶硅栅202、源区或漏区连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海华力集成电路制造有限公司,未经上海华力集成电路制造有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811515717.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇:半导体存储装置
- 下一篇:非挥发性存储器装置及其制造方法
- 同类专利
- 专利分类
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的